IBS光學(xué)干涉儀ARINNA AR50 用于3D表面拓?fù)錅y(cè)量

 

 

 ARINNA能夠測(cè)量離散的步高和表面質(zhì)量，垂直分辨率為 <2nm。巨型像素?cái)z像頭可在 1 秒內(nèi)捕獲表面掃描?？捎糜谠诰€(xiàn)缺陷檢測(cè)和特征化、光學(xué)表面和結(jié)構(gòu)測(cè)量、3D表面拓?fù)錅y(cè)量、MEMS/NEMS 檢測(cè)等。

 

 

技術(shù)參數(shù)

 

Z 范圍 （μm） 0,9

每次捕獲 FOV （毫米） 0，11 x 0，11

Z 分辨率 （μm） 0,002

結(jié)果時(shí)間（秒） 1,5

工作距離（毫米）

分辨率為 15kHz 有色 0，02%，有色 0，02%

零/偏移調(diào)整 是的

典型的熱漂移 0，04% F.S.*/C

LED 范圍指示器 是的

 

 

 

 ARINNA 是一種高速干涉儀，它結(jié)合了納米級(jí)表面測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)、堅(jiān)固性和小巧的占地面積，使其能夠在您需要的地方進(jìn)行在線(xiàn)測(cè)量。雖然干涉儀帶來(lái)了速度、精度和無(wú)損測(cè)量的優(yōu)勢(shì)，但階梯結(jié)構(gòu)和嘈雜的環(huán)境通常是它們的局限性。ARINNA 并非如此。

 

ARINNA 采用的波長(zhǎng)掃描技術(shù)避免了在測(cè)量頭中進(jìn)行機(jī)械掃描的需要，正如一些干涉測(cè)量系統(tǒng)所采用的那樣。這克服了對(duì)測(cè)量速度和系統(tǒng)集成（例如頭部 360 度定向的能力）的相關(guān)限制。對(duì)于在線(xiàn)使用，ARINNA 的設(shè)計(jì)中集成了獲得專(zhuān)利的振動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)。這種技術(shù)避免了對(duì)大型和/或復(fù)雜的隔離系統(tǒng)的需要；有時(shí)是高精度光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)在現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用的限制因素。