品牌Leybold | 有效期至長期有效 | 最后更新2023-06-30 18:10 |
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LEYSPEC 殘余氣體分析儀 (RGA) 產(chǎn)品系列可實(shí)現(xiàn)簡單直觀的操作。
只需按一下按鈕,您就可以顯示關(guān)鍵氣體的分壓,如果您的工藝涉及額外的氣體,您可以將其分配給備用顯示通道。
由于可實(shí)現(xiàn)的高烘烤溫度,LEYSPEC 非常適合用于要求苛刻的高真空和超高真空應(yīng)用。
2、Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC加工原則
測量池是熱陰極電離真空計(jì)。電子從熱絲發(fā)射,并通過電偏置加速到源頭??焖僖苿拥碾娮优c氣體分子碰撞,使電子移位,從而使它們電離。正氣體離子將其電流提供給負(fù)負(fù)載的離子收集器。離子電流與壓力成正比。離子越多,離子電流越高。四極桿陣列由四根不銹鋼棒組成。直流和高頻電壓施加到所有桿上。這會產(chǎn)生復(fù)雜的磁場。通過改變電壓,磁場得到控制。
由此產(chǎn)生的振動僅允許特定質(zhì)量的離子“飛過"它并到達(dá)檢測部分:
具有適當(dāng)質(zhì)荷比(m / e)的離子將以穩(wěn)定的三維軌跡通過兩極振蕩。
不正確的m/e離子將失控振蕩并與兩極碰撞
離子到達(dá)離子收集器并提供輸出電流,該電流是通過過濾器的離子相對豐度的量度。然后,離子電流或分壓相對于m/z比顯示在裝置或軟件中。
移動式殘余分析儀系統(tǒng)
Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC推車帶有集成的差動泵系統(tǒng),具有最大的靈活性和易于操作。
它是一個獨(dú)立的泵送系統(tǒng),可輕松適應(yīng)各種測量任務(wù),在各種壓力下具有快速的運(yùn)行準(zhǔn)備和可操作性。
Leybold解決方案:
配備 SCROLLVAC 7 plus 和 TURBOVAC 350 i 的獨(dú)立泵送系統(tǒng)
集成過程控制,操作快速簡便
簡單直觀的萊特格 RGA 軟件
集成在可獨(dú)立移動的推車中
特高壓針閥,可在不同壓力水平直至大氣壓下靈活運(yùn)行
Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC緊湊且簡單
所有產(chǎn)品均配有集成顯示屏,操作簡單快捷,LEYSPEC軟件則用于復(fù)雜的測試程序和殘余氣體分析。LEYSPEC產(chǎn)品系列尺寸緊湊,可安裝在任何方向,非常適合不同的內(nèi)置情況。
由于界面直觀,LEYSPEC殘余氣體分析儀非常易于操作。只需按一下按鈕,您就可以顯示關(guān)鍵氣體的分壓,如果您的工藝涉及額外的氣體,您可以將其分配給備用顯示通道
Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC直觀的軟件
智能直觀的萊特軟件完善了產(chǎn)品。用戶友好的界面允許廣泛的用例,從簡單的操作到復(fù)雜的分析。創(chuàng)建食譜非常簡單:快速方便。
在操作過程中,將顯示總壓力,并可以選擇不同的視圖來適應(yīng)視圖以進(jìn)行分析。在掃描模式、趨勢模式或模擬模式之間進(jìn)行選擇
Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC高級功能
預(yù)安裝的軟件功能允許許多附加功能和測試程序,例如氦氣泄漏測試或?yàn)榭蛇x氣體設(shè)置警告和錯誤級別。實(shí)現(xiàn)了可編程脫氣功能,用于啟動或暴露在大氣中的簡單工藝脫氣。背景抑制允許聚焦在重要的峰值上。
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