Bronkhorst氣體流量控制器EL-FLOW Select系列用于清潔和干燥氣體

 

用于清潔和干燥氣體的實(shí)驗(yàn)室式質(zhì)量流量?jī)x器?？蛇x的有用于半導(dǎo)體市場(chǎng)和其他高純氣體的金屬密封儀器

準(zhǔn)確性：提供高精度的旁路傳感器，優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性，以及快速響應(yīng)。

Bronkhorst 氣體流量控制器 EL-FLOW Select 是一款高性能的氣體流量控制設(shè)備?；跓醾鲗?dǎo)原理，通過(guò)測(cè)量氣體對(duì)加熱元件和溫度傳感器之間熱量傳遞的影響來(lái)確定氣體的質(zhì)量流量。當(dāng)氣體流過(guò)傳感器時(shí)，帶走加熱元件的熱量，導(dǎo)致溫度傳感器檢測(cè)到溫度變化，根據(jù)這種變化與氣體流量的關(guān)系計(jì)算出氣體的質(zhì)量流量。內(nèi)置的微處理器將測(cè)量得到的實(shí)際流量值與設(shè)定值進(jìn)行比較，根據(jù)偏差信號(hào)控制精密的控制閥，調(diào)節(jié)氣體流量，使實(shí)際流量不斷趨近于設(shè)定值，實(shí)現(xiàn)精確的流量控制。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

高精度測(cè)量與控制：采用先進(jìn)的熱式質(zhì)量流量傳感器和精密控制閥，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的氣體流量測(cè)量和控制，精度可達(dá) ±0.5% rd plus ±0.1% fs，重復(fù)精度優(yōu)于 ±0.2% rd。

快速響應(yīng)：EL-FLOW Select 系列的響應(yīng)速度非常快，一般在 2-4 秒內(nèi)即可完成從一個(gè)流量值到另一個(gè)流量值的穩(wěn)定調(diào)節(jié)，能夠滿足快速變化的流量控制需求。

寬流量范圍：涵蓋了從 0.014 mln/min 到 1670 ln/min 的廣泛流量范圍，可滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)氣體流量的需求。

多氣體兼容性：可以存儲(chǔ)最多 8 條校準(zhǔn)曲線，實(shí)現(xiàn)對(duì)多種不同氣體的精確測(cè)量和控制，用戶可根據(jù)實(shí)際使用的氣體種類選擇相應(yīng)的校準(zhǔn)曲線。

壓力和溫度獨(dú)立性：具有出色的壓力和溫度穩(wěn)定性，壓力敏感性小于 0.1% rd/bar（典型 N?），溫度敏感性小于 0.05% fs/°C（零點(diǎn)）和 0.05% rd/°C（量程），在不同的壓力和溫度條件下仍能保持高精度的流量控制。

多種通信接口：除了標(biāo)準(zhǔn)的 RS232 通信接口外，還可選配 CANopen、DeviceNet、EtherCAT、Profibus DP、Profinet、Modbus RTU、ASCII over TCP/IP、Ethernet/IP、Powerlink 或 Flow-bus 等通信接口，方便與各種自動(dòng)化控制系統(tǒng)集成。

技術(shù)參數(shù)

工作溫度范圍：-10℃至 + 70℃。

壓力等級(jí)：可達(dá) 100 bar abs，部分型號(hào)如 F-201CV 為 64 bar abs。

過(guò)程連接：可選擇壓縮式或面密封（VCR/VCO）接頭。

電源供應(yīng)：+15…24 VDC，不同接口下的最大功耗有所不同。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)：用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的氣體流量控制，如化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、刻蝕等工藝，確保精確的氣體配比和流量控制，提高半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和一致性。

化學(xué)工業(yè)：在化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中，精確控制各種反應(yīng)氣體的流量，有助于優(yōu)化反應(yīng)條件，提高反應(yīng)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，同時(shí)確保生產(chǎn)過(guò)程的安全性。

制藥行業(yè)：在制藥過(guò)程中的氣體滅菌、藥品包裝等環(huán)節(jié)，需要精確控制氣體流量，以保證藥品的質(zhì)量和安全性。

科研領(lǐng)域：在高校、科研機(jī)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)室中，用于各種氣體相關(guān)的實(shí)驗(yàn)研究，如材料科學(xué)、化學(xué)工程、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)，為科研人員提供精確的氣體流量控制。

 

常見(jiàn)型號(hào)

F-100D

F-101D

F-101E

F-102D

F-102E

F-103D

F-103E

F-110C

F-111AC型

F-111B型