MLase MLI-500KrF準(zhǔn)分子激光器數(shù)十億脈沖的延長壽命

MLase MLI-200 / 500 / 1000 準(zhǔn)分子激光

MLase 的現(xiàn)代緊湊型 MLI 系列準(zhǔn)分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脈沖能量高達(dá) 16 mJ，重復(fù)頻率高達(dá) 1，000 Hz

市場上具有刀具壽命和可靠性以及最低擁有成本的獨(dú)立設(shè)備。由于光束輪廓均勻，能量穩(wěn)定，適用于要求苛刻的應(yīng)用。

后綴為LC的準(zhǔn)分子激光器還可以選擇主動水冷（通過家用水或外部熱交換器;無去離子水），以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運(yùn)行。

MLase MLI-500KrF準(zhǔn)分子激光參數(shù)

波長（nm）248

重復(fù)頻率（Hz）500

穩(wěn)定脈沖能量（mJ）10

穩(wěn)定脈沖功率（W）5,0

能量穩(wěn)定性（西格瑪，%）2 

光束尺寸（FWHM，V x H mm）6x3

光束發(fā)散度（FWHM，V x H mrad）2x1 

脈沖持續(xù)時(shí)間（FWHM）（ns）5-15

重量kg 75

冷卻 空氣

電源 230V, 50/60Hz, 2000W

尺寸 (L x W x H) mm 560 x 315 x 445

MLase MLI-500KrF主要功能

剛性設(shè)計(jì)

電暈預(yù)電離

固態(tài)電路

卡套管技術(shù)

能量監(jiān)測器

緊湊型準(zhǔn)分子激光，單相

MLase MLI-500KrF優(yōu)勢

高可靠性

均勻梁剖面

即時(shí)可用，無老化

全金屬密封管

數(shù)十億脈沖的延長壽命

能量穩(wěn)定

易于操作，易于集成