品牌Mlase | 有效期至長期有效 | 最后更新2023-07-10 15:12 |
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MLase 的現(xiàn)代緊湊型 MLI 系列準(zhǔn)分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,脈沖能量高達(dá) 16 mJ,重復(fù)頻率高達(dá) 1,000 Hz
市場上具有最高刀具壽命和可靠性以及低擁有成本的獨(dú)立設(shè)備。由于光束輪廓均勻,能量穩(wěn)定,適用于要求苛刻的應(yīng)用。
后綴為LC的準(zhǔn)分子激光器還可以選擇主動(dòng)水冷(通過家用水或外部熱交換器;無去離子水),以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運(yùn)行。
Mlase MLI-200 KrF激光參數(shù)
波長(nm)248
最大重復(fù)頻率(Hz)200
穩(wěn)定脈沖能量(mJ)10
穩(wěn)定脈沖功率(W)2,0
能量穩(wěn)定性(西格瑪,%)2
光束尺寸(FWHM,V x H mm)6x3
光束發(fā)散度(FWHM,V x H mrad)2x1
脈沖持續(xù)時(shí)間(FWHM)(ns)5-15
重量kg 75
冷卻 空氣
電源 230V, 50/60Hz, 2000W 最大
尺寸 (L x W x H) mm 560 x 315 x 445
Mlase MLI-200 KrF準(zhǔn)分子激光主要功能
剛性設(shè)計(jì)
電暈預(yù)電離
固態(tài)電路
卡套管技術(shù)
能量監(jiān)測器
緊湊型準(zhǔn)分子激光,單相
Mlase MLI-200 KrF準(zhǔn)分子激光優(yōu)勢
高可靠性
均勻梁剖面
即時(shí)可用,無老化
全金屬密封管
數(shù)十億脈沖的延長壽命
能量穩(wěn)定
易于操作,易于集成
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