Spin Processor勻膠旋涂?jī)xPOLOS系列
德國(guó)POLOS系列勻膠旋涂?jī)x提供了先進(jìn)、可重復(fù)的工藝流程控制方案.
一個(gè)高效的空氣動(dòng)力學(xué)腔體確保旋涂的高度均勻性，天然聚丙烯
（NPP）或聚四氟?乙烯（PTFE）材質(zhì)，整機(jī)無(wú)?金屬裸露，無(wú)交叉污染，
易清洗維護(hù)，為用戶(hù)帶來(lái)全新的操作體驗(yàn).
操作控制器可拆卸，全尺寸的觸摸屏，可戴手套操作，耐化學(xué)性。
系統(tǒng)參數(shù)表
SPIN150i SPIN200i
程序段數(shù)： 無(wú)限制 無(wú)限制
操作步數(shù)： 無(wú)限制 無(wú)限制
旋轉(zhuǎn)速度： 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-12,000 rpm ±1rpm steps
旋轉(zhuǎn)精度： ± 0.1 rpm ± 0.1 rpm
旋轉(zhuǎn)方向： 順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺動(dòng) 順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺動(dòng)
最大加速度： 30,000 rpm/sec 30,000 rpm/sec
旋轉(zhuǎn)時(shí)間： 無(wú)限制*, ± 0.1 seconds steps 無(wú)限制*, ± 0.1 seconds steps
基片范圍： 160mm 直徑or 4?″ ?片 260 mm 直徑or 6?″ ?片
腔體直徑： 202 mm 302 mm
外形尺寸： 274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm 380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
勻膠旋涂?jī)xSPIN PROCESSORAPT勻膠旋涂?jī)x
Spin Processor勻膠旋涂?jī)xPOLOS系列
德國(guó)POLOS系列勻膠旋涂?jī)x提供了先進(jìn)、可重復(fù)的工藝流程控制方案.
一個(gè)高效的空氣動(dòng)力學(xué)腔體確保旋涂的高度均勻性，天然聚丙烯
（NPP）或聚四氟?乙烯（PTFE）材質(zhì)，整機(jī)無(wú)?金屬裸露，無(wú)交叉污染，
易清洗維護(hù)，為用戶(hù)帶來(lái)全新的操作體驗(yàn).
操作控制器可拆卸，全尺寸的觸摸屏，可戴手套操作，耐化學(xué)性。
系統(tǒng)參數(shù)表
SPIN150i SPIN200i
程序段數(shù)： 無(wú)限制 無(wú)限制
操作步數(shù)： 無(wú)限制 無(wú)限制
旋轉(zhuǎn)速度： 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-12,000 rpm ±1rpm steps
旋轉(zhuǎn)精度： ± 0.1 rpm ± 0.1 rpm
旋轉(zhuǎn)方向： 順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺動(dòng) 順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺動(dòng)
最大加速度： 30,000 rpm/sec 30,000 rpm/sec
旋轉(zhuǎn)時(shí)間： 無(wú)限制*, ± 0.1 seconds steps 無(wú)限制*, ± 0.1 seconds steps
基片范圍： 160mm 直徑or 4?″ ?片 260 mm 直徑or 6?″ ?片
腔體直徑： 202 mm 302 mm
外形尺寸： 274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm 380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
勻膠旋涂?jī)xSPIN PROCESSOR
APT勻膠旋涂?jī)xSPIN200i
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