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P-518 • P-528 • P-558 壓電陶瓷Z向/偏擺平臺(tái)

高動(dòng)態(tài)，帶大通光孔徑

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§ 三軸Z向和偏擺平臺(tái) / 單軸Z向位移臺(tái)

§ 垂直偏擺角達(dá)200微米/2毫弧度，閉環(huán) （開環(huán)達(dá)240 微米/2.4 毫弧度）

§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽 命

§ 通光孔徑為66 毫米 × 66 毫米

§ 電容式傳感器帶來最高線性度

應(yīng)用領(lǐng)域

·         計(jì)量

·         干涉測(cè)量

·         光子學(xué)/集成光學(xué)

·         平版印刷術(shù)

·         納米定位

·         掃描顯微鏡

·         樣本對(duì)準(zhǔn)

·         微加工

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動(dòng)配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長(zhǎng)使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)位置測(cè)量實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的高跟蹤精度

各自由度均相對(duì)于單一固定參考進(jìn)行了測(cè)量。對(duì)其他軸的不良運(yùn)動(dòng)串?dāng)_均可得到實(shí)時(shí)主動(dòng)補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動(dòng)導(dǎo)向）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級(jí)。

訂購(gòu)信息

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精密納米定位Z向位移臺(tái)，50微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

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精密納米定位Z向位移臺(tái)，50微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

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精密納米定位Z向位移臺(tái)，100微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

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精密納米定位Z向位移臺(tái)，100微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

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精密納米定位Z向位移臺(tái)，200微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

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精密納米定位Z向位移臺(tái)，200微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

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精密納米定位器Z向位移臺(tái)和偏擺臺(tái)，50微米，0.6毫弧度，平行計(jì)量，電容傳感器，Sub-D連接器

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精密納米定位器Z向位移臺(tái)和偏擺臺(tái)，100微米，1.4毫弧度，平行計(jì)量，電容傳感器，Sub-D連接器

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精密納米定位器Z向位移臺(tái)和偏擺臺(tái)，200微米，2.4毫弧度，平行計(jì)量，電容傳感器，Sub-D連接器

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