PI (Physik Instrumente)P-733.3 XYZ壓電陶瓷納米定位器

譚晶 QQ：2853369887   手機(jī)：18518172492 電話：010-64717020-116 傳真：010-84786709-666 郵件：sales9@handelsen.cn

P-733.3 XYZ壓電陶瓷納米定位器

具有孔徑的高精度XYZ掃描儀

X和Y向上的行程達(dá)100微米 × 100微米，Z向上的行程達(dá)10微米

帶直接驅(qū)動器的高速版本

并聯(lián)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)更高精度和動態(tài)

零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

電容式傳感器使分辨率達(dá)0.1納米

超高真空兼容和非磁性版本

導(dǎo)向誤差主動補(bǔ)償?shù)牟⑿杏嬃?/p>

50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應(yīng)用

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         表面測量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操縱

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         高運(yùn)動平面度和直線度的納米定位

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無故障運(yùn)行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)位置測量實(shí)現(xiàn)納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運(yùn)動串?dāng)_均可得到實(shí)時主動補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動導(dǎo)向）。即使在動態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級。

訂購信息

直驅(qū)版本

P-733.3DD

高動態(tài)，高精度XYZ納米定位系統(tǒng)，30 µm×30 µm×10 µm，直接驅(qū)動，電容傳感器，并聯(lián)

計量，D-sub連接器

帶有D-sub連接器的版本（m）

P-733.3CD

精密XYZ納米定位系統(tǒng)，100 µm×100 µm×10 µm，電容傳感器，并行計量，D-sub連接器

帶有LEMO連接器的版本

P-733.3CL

精密XYZ納米定位系統(tǒng)，100 µm×100 µm×10 µm，電容傳感器，并行計量，LEMO連接器

真空兼容版本達(dá)10-6 hPa

P-733.3VD

精密XYZ納米定位系統(tǒng)，100 µm×100 µm×10 µm，電容傳感器，并行計量，D-sub連接器，

真空兼容10-6 hPa

我們的優(yōu)勢：

1）渠道廣泛，國內(nèi)有代理，或者有客戶保護(hù)廠家不賣的產(chǎn)品，只要您能提供型號，我們同樣可以從德國的分銷商來采購。

2）價格合理，繞過層層代理，最大限度的讓利給客戶。

3）直接從德國廠家采購，保證所有產(chǎn)品均為原裝正品。

4）德國倉庫每周三統(tǒng)一拼箱發(fā)貨，極大節(jié)約了物流成本。

5）德國工程師為您提供專業(yè)的售前及售后技術(shù)咨詢服務(wù)。

北京漢達(dá)森德國本土采購，拼箱發(fā)貨報關(guān)，德國技術(shù)支持，終身售后服務(wù)，貨期保證，價格公道，歡迎垂詢!如需更多信息歡迎垂詢漢達(dá)森品牌專員譚晶18518172492。