德國(guó)PI Q-545帶壓電電機(jī)的精密線性平臺(tái)

Q-545 Q-Motion®精密線性平臺(tái)

壓電電機(jī)可實(shí)現(xiàn)高力和小巧設(shè)計(jì)

 

寬度僅為45 毫米

帶位置分辨率的增量傳感器

真空兼容至10-6百帕 (Q-545.xx0)

推/拉力為8 牛

不帶接裝板的XY組合可供選擇

真空兼容至10-9百帕 (Q-545.xxU)

 

壓電慣性驅(qū)動(dòng)器

壓電陶瓷慣性驅(qū)動(dòng)器為空間節(jié)約型且價(jià)格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)器，其保持力相對(duì)較大，行程幾乎是無限的。慣性驅(qū)動(dòng)原理是基于由特殊驅(qū)動(dòng)器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個(gè)壓電促動(dòng)器。促動(dòng)器緩慢膨脹，移動(dòng)轉(zhuǎn)子。由于其慣性，轉(zhuǎn)子無法跟上促動(dòng)器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時(shí)，驅(qū)動(dòng)直接作用在動(dòng)輪上，實(shí)現(xiàn)最大為10毫米/秒的速度。

真空和無磁性環(huán)境

所有Q-Motion®線性平臺(tái)都適用于高真空中的操作，真空可達(dá)10-6 百帕。此外，適用于10-9 百帕的超高真空版本也可供貨?？砂葱杼峁┓谴判园姹?span lang="EN-US" style="-webkit-tap-highlight-color: transparent; box-sizing: border-box;">

直接測(cè)量原理

可提供帶非接觸式光學(xué)線性編碼器的版本。分辨率為1 納米。帶編碼器的版本具有參考點(diǎn)開關(guān)

應(yīng)用領(lǐng)域

微裝配, 光子, 光學(xué)對(duì)準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測(cè)試

訂購(gòu)信息

Q-545.100 Q-Motion® 線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為13毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為8牛，尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

 

Q-545.10U Q-Motion® 線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為13毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為8牛，尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H)，真空兼容至10 -9 百帕

 

Q-545.140 Q-Motion® 線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為13毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為8牛，尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

 

Q-545.14U Q-Motion® 線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為13毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為8牛，尺寸為45 × 48 × 15毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

 

Q-545.200 Q-Motion® 線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為26毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為8牛，尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

 

Q-545.20U Q-Motion® 線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為26毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為8牛，尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

 

Q-545.240 Q-Motion® 線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為26毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為8牛，尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕 Q-545.24U

 

Q-Motion® 線性平臺(tái)，壓電慣性驅(qū)動(dòng)，行程為26毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為8牛，尺寸為45 × 63 × 15毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

德國(guó)PI Q-545帶壓電電機(jī)的精密線性平臺(tái)

德國(guó)Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米與納米定位技術(shù)的研發(fā)與制造。PI代表著技術(shù)性能，定位精度可達(dá)納米。PI可獲得的組件獨(dú)立于市場(chǎng)上，并提供超越現(xiàn)有技術(shù)水平的單獨(dú)解決方案。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

Physik Instrumente提供了超越全球競(jìng)爭(zhēng)的技術(shù)范圍和垂直生產(chǎn)范圍。然而，PI重要的關(guān)注是通過定位解決方案不斷地激勵(lì)客戶。今天，無論是在計(jì)量、顯微，生命科技，還是激光技術(shù)，精密加工技術(shù)；無論是半導(dǎo)體科技，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù)，還是光電子/光纖，天文等領(lǐng)域，PI的產(chǎn)品和技術(shù)正得到越來越廣泛的應(yīng)用，也贏得了越來越廣泛的贊譽(yù)。

Physik Instrumente (PI)主要產(chǎn)品：

線性平臺(tái)和執(zhí)行器

電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和測(cè)角器

XY平臺(tái)

六足/平行運(yùn)動(dòng)

XYZ掃描儀

Z-/傾斜平臺(tái)，提示/傾斜鏡和有源光學(xué)

陶瓷部件

壓電陶瓷組件

壓電陶瓷執(zhí)行器

控制器和驅(qū)動(dòng)器

空氣軸承導(dǎo)向系統(tǒng)

主要型號(hào)：

E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91