德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀
PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為參考?？梢詫崟r地（取決于帶寬）主動補償與另一軸發(fā)生的不必要的運動串擾（主動引導(dǎo)）。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。
訂購信息
H-850.G2
精密六足微型機器人，直流減速電機，旋轉(zhuǎn)編碼器，負載能力50 kg，速度8 mm / s，包括3 m電纜
H-850.G2A
精密六足微型機器人，無刷直流齒輪電動機，絕對編碼器，50 kg負載能力，8 mm / s速度，包括3
米電纜
H-850.G2V
精密的六足微型機器人，直流減速電機，旋轉(zhuǎn)編碼器，25 kg的負載能力，2.5 mm / s的速度，與真空兼容
10-6
hPa，包括在空氣側(cè)設(shè)置的3 m電纜和在真空側(cè)設(shè)置的2 m電纜
H-850.H2
精密六足微型機器人，直流減速電機，旋轉(zhuǎn)編碼器，負載能力250 kg，速度0.5 mm / s，包括3 m電纜
H-850.H2A
精密六足微型機器人，無刷直流齒輪電動機，絕對編碼器，250公斤的負載能力，0.5毫米/秒的速度，包括
3 m電纜
H-850.H2V
精密六足微型機器人，直流減速電機，旋轉(zhuǎn)編碼器，80公斤的負載能力，0.15毫米/秒的速度，與真空兼容
至10-6
hPa，包括在空氣側(cè)設(shè)置的3 m電纜和在真空側(cè)設(shè)置的2 m電纜
PI H-850.H2A
PI H-850.G2A
PI H-810.D1
PI H-810.D2
PI H-810.D11
PI H-810.D2 + C-887.5xx
PI H-810.D12
PI H-810.D2 + C-887.5xx
PI H-820.D1
PI H-820.D2
PI H-820.D11
PI H-820.D2 + C-887.5xx
PI H-820.D12
PI H-820.D2 + C-887.5xx
PI H-820.D13
PI Q-545.240
PI N-565.260
PI E-873.1AT
PI P-753.1CD
PI P-753.1CD
PI E-505.00
PI M-235.5DG
PI M-404.4PD
PI C-863.12
PI P-620.1CD
PI C-663.12
PI C-887.52
型號介紹：
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)：緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺：高精度納米定位器，最多可容納3個軸
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能
用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀
德國PI XYZ壓電彎曲掃描儀P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)
德國PI P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡
德國PI P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY（Z）平臺用于高動態(tài)顯微鏡
緊湊型精密XYZ納米掃描儀
德國PI P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：高動態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡
德國PI P-313 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：皮克計精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡
德國PI 線性壓電撓性位移臺
PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與最小的串擾相結(jié)合。這使得它們特別適合于計量，微觀過程，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。
帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺可用于最大1.5 mm的行程。
型號介紹：
壓電撓性線性平臺
德國PI P-630高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)：1軸大孔徑
德國PI P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺：動態(tài)穩(wěn)定
德國PI P-752高精度納米定位臺：高動態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀，具有極其精確德國PI的引導(dǎo)
德國PI P-750壓電納米定位系統(tǒng)：具有直接計量功能的高負載壓電驅(qū)動納米定位系統(tǒng)
德國PI P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)：廉價，緊湊的線性定位系統(tǒng)
德國PI P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統(tǒng)
德國PI P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置
德國PI壓電撓性垂直平臺
德國PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置
德國PI S-303壓電移相器：高動態(tài)，納米級精密壓電移相器
德國PI P-733.Z高動態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測量和通光孔徑
德國PI P-612.Z壓電Z舞臺：帶孔的緊湊型納米定位器
德國PI P-611.Z壓電Z舞臺：緊湊型納米定位器
特色定制
德國PI PI P-725KHDS
德國PI P-725KHDSPIFOC®高動態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率
在過去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的領(lǐng)先制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動機始終保持不變：為客戶找到最佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名，多年來一直是全球精密定位技術(shù)市場的領(lǐng)導(dǎo)者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內(nèi)部的團隊精神，其基礎(chǔ)是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。
PI（Physik Instrumente）位移平臺不僅針對線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器。PI還使這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用，或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。
該控件是重要的系統(tǒng)組件，也由PI提供。這不僅提供了復(fù)雜的控制概念，還為應(yīng)用程序環(huán)境提供了硬件和軟件接口。
德國PI 微型六足動物線性平臺產(chǎn)品介紹
德國PI Q-Motion®壓電位移臺內(nèi)置了最小的6自由度運動設(shè)備，也提供手掌大小的BLDC電機六足位移臺。
使用的運動設(shè)計取決于應(yīng)用中單個軸上運動的重要性。經(jīng)典的平行運動六腳架設(shè)計可實現(xiàn)最佳的整體性能均勻性。當需要相對較大的線性運動時，最好采用薄型設(shè)計。
最好使用采用PI的專利PICMA®或PiezoWalk®驅(qū)動技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。
德國PI 微型六足動物H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：快速，緊湊，高精度
德國PI 微型六足動物H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對準的理想選擇
德國PI H-811.S2 6軸運動六腳架：快速而緊湊的高動態(tài)應(yīng)用
德國PI H-810 6軸微型六腳架：最小空間內(nèi)的高精度
德國PI P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強磁場中也能進行高精度定位
德國PI 5.PI 微型線性平臺
德國PI 線性壓電撓性位移臺
訂購信息
N-565.160
精密線性定位平臺，行程為13毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動力為10牛，尺寸為65 × 80 ×
20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅(qū)動器
N-565.260
精密線性定位平臺，行程為26毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動力為10牛，尺寸為65 × 110 ×
20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅(qū)動器
N-565.360
精密線性定位平臺，行程為52毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動力為10牛，尺寸為65 × 160 ×
20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅(qū)動器
PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與最小的串擾相結(jié)合。這使得它們特別適合于計量，微觀過程，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。
帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺可用于最大1.5 mm的行程。
型號介紹：
壓電撓性線性平臺
德國PI P-630高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)：1軸大孔徑
德國PI P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺：動態(tài)穩(wěn)定
德國PI P-752高精度納米定位臺：高動態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀，具有極其精確德國PI的引導(dǎo)
德國PI P-750壓電納米定位系統(tǒng)：具有直接計量功能的高負載壓電驅(qū)動納米定位系統(tǒng)
德國PI P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)：廉價，緊湊的線性定位系統(tǒng)
德國PI P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統(tǒng)
德國PI P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置
德國PI壓電撓性垂直平臺
德國PI P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置
德國PI S-303壓電移相器：高動態(tài)，納米級精密壓電移相器
德國PI P-733.Z高動態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測量和通光孔徑
德國PI P-612.Z壓電Z舞臺：帶孔的緊湊型納米定位器
德國PI P-611.Z壓電Z舞臺：緊湊型納米定位器
特色定制
德國PI PI P-725KHDS
德國PI P-725KHDSPIFOC®高動態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率
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