德國(guó)ADL單極脈沖發(fā)生器 SD 151與直流電源結(jié)合使產(chǎn)生帶有反向的單極脈沖 一、產(chǎn)品概述 單極脈沖發(fā)生器用于電弧臨界和部分反應(yīng)過(guò)程高質(zhì)量和可復(fù)制的涂層 直流電源（HX、GX / GS）可通過(guò)接口X4

一、產(chǎn)品概述

單極脈沖發(fā)生器用于電弧臨界和部分反應(yīng)過(guò)程高質(zhì)量和可復(fù)制的涂層

直流電源（HX、GX / GS）可通過(guò)接口X4P與單極脈沖發(fā)生器（SD）組合。因此，涂布設(shè)備可以使用直流或單極脈沖非常靈活地運(yùn)行。在“主/從”或并聯(lián)作中，多個(gè)電源的同步功率可達(dá) 240 kW。脈沖發(fā)生器的緊湊 1/2 19“ 設(shè)計(jì)使直接安裝在真空室中成為可能！與所有 ADL 電源一樣，脈沖系統(tǒng)無(wú)需維護(hù)，極少發(fā)生故障，并且后續(xù)成本極低，性價(jià)比競(jìng)爭(zhēng)力。

二、單極脈沖發(fā)生器應(yīng)用

直流+單極脈沖

ADL 單極脈沖系統(tǒng)是部分氧化過(guò)程濺射的選擇。單極脈沖與金屬靶材部分反應(yīng)或與陶瓷靶材呈亞化學(xué)計(jì)量，通過(guò)極低的電弧能量，有助于避免室壁或陽(yáng)極的鈍化增加，從而有助于涂層過(guò)程的穩(wěn)定。

直流和單極脈沖發(fā)生器的組合用于生產(chǎn) OLED，或用于大平面屏幕或特殊裝飾和硬涂層的 LCD。

三、產(chǎn)品特性

具有低導(dǎo)電目標(biāo)的廣泛濺射應(yīng)用

對(duì)半氧化靶標(biāo)（例如 TiOx、NbOx）具有出色的過(guò)程控制能力

對(duì) AZO 等電弧關(guān)鍵靶材進(jìn)行穩(wěn)定加工

單極全反應(yīng)涂層工藝，例如 SiO2四3O4人工智能2O3

與直流相比，涂層形貌得到改善

四、產(chǎn)品介紹

單極脈沖發(fā)生器 SD 151、SD 301、SD 351

高達(dá) 35 kW

與 ADL 直流電源結(jié)合使用，脈沖發(fā)生器 SD 151 / SD 301 和 SD 351 可產(chǎn)生帶有反向脈沖的單極脈沖，以加快陰極放電速度。與反向脈沖相結(jié)合，與不帶反向脈沖的脈沖發(fā)生器 （SD 150 / SD 300） 相比，極快的全自動(dòng)電弧抑制可將電弧能量降低約 50%。發(fā)生器以 20 kHz 的固定頻率工作。因此，使用外部信號(hào)發(fā)生器，該頻率可以在 1 kHz 到 40 kHz 的范圍內(nèi)變化。多達(dá)八個(gè)脈沖發(fā)生器可互連，通過(guò)控制電纜進(jìn)行自動(dòng)同步。SD 151、SD 301 和 SD 351 中包含的新電子設(shè)備可補(bǔ)償延遲時(shí)間，因此即使高壓輸出并聯(lián)，也不需要主振蕩器即可實(shí)現(xiàn)精確同步。

性能參數(shù)：

反向脈沖

輸出功率 15 kW、30 kW、

35 kW

并聯(lián)運(yùn)行功率高達(dá) 280 kW

自動(dòng)消弧

風(fēng)冷

緊湊設(shè)計(jì)，1/2 19“ - 3HU

浮動(dòng)輸出