蓋米PurePlus 隔膜閥在微芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用
王新宇
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一、引言
隨著科技的飛速發(fā)展,印刷電路板和微芯片在各種電子設(shè)備中的應(yīng)用越來越廣泛。在這兩大制造領(lǐng)域中,蓋米PurePlus 隔膜閥作為一種關(guān)鍵的流體控制元件,發(fā)揮著不可替代的作用。本文將詳細(xì)介紹蓋米PurePlus 隔膜閥的工作原理、運(yùn)行方式及其在印刷電路板和微芯片生產(chǎn)中的作用。
二、蓋米PurePlus 隔膜閥的工作原理
蓋米PurePlus 隔膜閥主要由閥體、閥盤、隔膜和閥桿等部件組成。隔膜作為核心部件,采用耐腐蝕、耐高壓的特殊材料制成,如聚四氟乙烯。其原理是利用隔膜的變形來實(shí)現(xiàn)閥口的開關(guān),從而達(dá)到控制流體流動的目的。
當(dāng)流體作用于閥盤上時,閥盤會受到力的作用產(chǎn)生位移,使隔膜發(fā)生形變。當(dāng)隔膜形變到一定程度時,會觸發(fā)行程開關(guān),從而控制閥口的開啟和關(guān)閉。由于隔膜的特殊材料和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),蓋米PurePlus 隔膜閥具有優(yōu)異的耐腐蝕性、密封性和穩(wěn)定性,適用于各種腐蝕性、高純度或微粒流體的控制。
三、蓋米PurePlus 隔膜閥的運(yùn)行方式
手動操作:通過旋轉(zhuǎn)閥桿或拉動閥桿實(shí)現(xiàn)閥口的開啟和關(guān)閉。這種操作方式適用于小型閥門或現(xiàn)場應(yīng)急操作。
電動操作:通過電機(jī)驅(qū)動執(zhí)行機(jī)構(gòu)來控制閥桿的旋轉(zhuǎn)或移動,從而實(shí)現(xiàn)閥口的自動控制。這種操作方式適用于自動化生產(chǎn)線和遠(yuǎn)程控制。
氣動操作:通過壓縮氣體驅(qū)動活塞或氣缸等執(zhí)行機(jī)構(gòu)來控制閥桿的移動,從而實(shí)現(xiàn)閥口的開關(guān)。這種操作方式適用于需要快速響應(yīng)和高精度的場合。
調(diào)節(jié)型操作:通過改變流體壓力或流量等參數(shù),實(shí)現(xiàn)對閥口的自動調(diào)節(jié)和控制。這種操作方式適用于需要精確控制流體的場合。
四、蓋米PurePlus 隔膜閥在印刷電路板和微芯片生產(chǎn)中的作用
控制化學(xué)品的供給:在印刷電路板和微芯片的生產(chǎn)過程中,需要使用各種化學(xué)品,如光刻膠、蝕刻液等。蓋米PurePlus 隔膜閥能夠精確控制這些化學(xué)品的供給流量和壓力,保證生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
實(shí)現(xiàn)高純度流體的控制:在集成電路和微芯片制造中,高純度流體的控制對于產(chǎn)品性能至關(guān)重要。蓋米PurePlus 隔膜閥具有優(yōu)異的耐腐蝕性和密封性,能夠保證高純度流體的純凈度和穩(wěn)定性,降低產(chǎn)品的不良率。
精確控制流量和壓力:蓋米PurePlus 隔膜閥具有優(yōu)秀的流量和壓力控制性能,能夠滿足印刷電路板和微芯片生產(chǎn)中對流體控制的嚴(yán)格要求。它保證了工藝參數(shù)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性,提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。
減少泄漏和污染:由于蓋米PurePlus 隔膜閥具有優(yōu)良的密封性能,能夠有效防止化學(xué)品泄漏和污染。這降低了生產(chǎn)過程中的安全風(fēng)險,提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
部分型號:
GEMÜ 710
GEMÜ 717
GEMÜ 723
GEMÜ B52
GEMÜ BOFS
GEMÜ BOTS
GEMÜ 410
GEMÜ 411
GEMÜ 415
GEMÜ 417
GEMÜ 487
GEMÜ 481
GEMÜ 488
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