德國PI納米定位平臺(tái)P-753電容式傳感器線性度高

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自1970年成立以來，PI（Physik Instrumente）已成為精密定位技術(shù)領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)制造商。PI開發(fā)和生產(chǎn)用于線性、旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸組合的各種定位平臺(tái)和致動(dòng)器。從精密機(jī)械和電子技術(shù)到位置傳感器技術(shù)，以及子公司 PI Ceramic 開發(fā)的壓電陶瓷和致動(dòng)器。我們開發(fā)的技術(shù)包括從基本解決方案到特定應(yīng)用版本。

主要產(chǎn)品：

PI納米定位壓電撓性平臺(tái)

PI微型位移臺(tái)

PI線性位移臺(tái)

PI線性致動(dòng)器

PI旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)

PI六足位移臺(tái)

PI 的納米定位平臺(tái)和掃描儀結(jié)合了納米級(jí)精度的分辨率和導(dǎo)向精度，并將串?dāng)_降低。因此，它們適用于計(jì)量、微觀工藝、干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢測(cè)系統(tǒng)中的基準(zhǔn)應(yīng)用。帶有 PICMA® 壓電致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺(tái)的行程范圍可達(dá) 1.5 mm。

P-753 LISA 線性致動(dòng)器和定位平臺(tái)

位置動(dòng)態(tài)穩(wěn)定

導(dǎo)軌平臺(tái)和執(zhí)行器同時(shí)使用

行程范圍達(dá) 38 µm

分辨率 0.1 nm

直接驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)特別快

電容式傳感器帶來較高線性度

P-620.Z - P-622.Z PIHera 垂直精密定位器

可變行程范圍和軸配置

行程范圍 50 µm 至 250 µm（開環(huán) 350 µm）

分辨率達(dá) 0.1 nm

線性誤差僅為 0.02

使用電容式傳感器直接測(cè)量位置

X、XY、Z、XYZ 版本

型號(hào)示例：

PI納米定位平臺(tái)p-621.1U

PI納米定位平臺(tái)p-625.1U

PI納米定位平臺(tái)p-620.Z

PI納米定位平臺(tái)p-622.Z

PI納米定位平臺(tái)p-753

PI納米定位平臺(tái)p-752

PI納米定位平臺(tái)p-750

PI納米定位平臺(tái)p-733.Z

PI納米定位平臺(tái)p-612.Z

PI納米定位平臺(tái)p-611.1

德國PI納米定位平臺(tái)P-753電容式傳感器線性度高