Oerlikon Leybold真空泵TURBOVAC i系列渦輪分子真空泵

機(jī)械、混合和磁懸浮高真空泵

渦輪分子真空泵用于需要清潔高真空或超高真空的應(yīng)用，例如核聚變的研究與開發(fā)，或涂層工業(yè)和分析儀器等工業(yè)領(lǐng)域。

 

原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉(zhuǎn)的渦輪機(jī)，其中渦輪機(jī)的級裝有多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片。位于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片之間的是固定的定子盤，其葉片以相反的方向排列。

 

通過從旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片到氣體分子的動量傳遞，氣體分子最初非定向熱運(yùn)動轉(zhuǎn)變?yōu)閺谋玫娜肟诜ㄌm沿軸向前真空法蘭的方向運(yùn)動。

在分子流動范圍內(nèi)（即在壓力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距（通常為零點(diǎn)幾毫米）。相應(yīng)地，分子主要與光學(xué)致密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞，從而產(chǎn)生高效的泵送作用。在層流（恒定）流量范圍內(nèi)（即壓力超過 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））轉(zhuǎn)子的效果因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。

 

因此，渦輪分子泵無法在大氣壓下泵送氣體。

 

Oerlikon Leybold TURBOVAC i

模塊化渦輪分子真空泵系列，抽速從 90 到 1450 l/s。

 

TURBOVAC 90 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 83 升/秒

抽速： 90 升/秒

 

TURBOVAC 350 i/iX

5 種變體

抽速 （Ar）： 260 升/秒

抽速： 360 升/秒

 

TURBOVAC 450 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 400 升/秒

抽速： 440 升/秒

 

TURBOVAC 250 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 210 升/秒

抽速： 250 升/秒

 

TURBOVAC 850 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 655 升/秒

抽速： 850 升/秒

 

TURBOVAC 450 iR

2 種變體

 

TURBOVAC 950 i/iX

4 種變體

抽速 （Ar）： 840 升/秒

抽速： 925 升/秒

 

TURBOVAC 850 iR

2 種變體

 

TURBOVAC 1450 i

8 種變體

抽速 （Ar）： 1280 升/秒

抽速： 1390 升/秒

 

TURBOVAC 1350 i

8 種變體

抽速 （Ar）： 1150 升/秒

抽速： 1350 升/秒

 

TURBOVAC 90 iR

3 種變體

 

TURBOVAC 950 iR

2 種變體

 

TURBOVAC 350 iR

2 種變體

 

TURBOVAC 250 iR

2 種變體

Oerlikon Leybold MAGiNTEGRA 帶磁力轉(zhuǎn)子懸架的渦輪分子泵

準(zhǔn)確性、精密度和可靠性合二為一！

TURBOVAC MAGiNTEGRA 是磁懸浮泵：適用于分析、環(huán)境、研究和具有挑戰(zhàn)性的工業(yè)涂層應(yīng)用的強(qiáng)大而緊湊的產(chǎn)品線。

 

高抽速和氣體吞吐量，可縮短抽空時(shí)間，從而縮短設(shè)備循環(huán)時(shí)間。

5軸主動磁浮軸承和驅(qū)動系統(tǒng)，將高可靠性與安全高效運(yùn)行相結(jié)合。

完全集成的轉(zhuǎn)換器和電源：不再需要傳統(tǒng)的機(jī)架式控制器和互連電纜。

出于安全原因，在斷電的情況下，MAGiNTEGRA 驅(qū)動系統(tǒng)切換到發(fā)電機(jī)模式，以保持轉(zhuǎn)子通過緩慢減速暫停。當(dāng)電力恢復(fù)時(shí)，泵開始自動加速到正常速度。

MAGiNTEGRA 具有 IP 54 防護(hù)等級，使其成為惡劣工業(yè)應(yīng)用環(huán)境中的理想泵;

這些磁力渦輪泵用于 10-1毫巴 （0.75 x 10-1托爾） 到 10-10毫巴 （0.75 x 10-10托爾）?？諝獾某樗購?300 l/s 到 2，200 l/s 不等。

TURBOVAC MAGiNTEGRA泵主要安裝在需要以下領(lǐng)域的區(qū)域：

 

無噪音和無振動運(yùn)行，

不含碳?xì)浠衔铮?/div>