德國Physik壓電P-611.3 納米立方體XYZ系統(tǒng)多軸壓電系統(tǒng)

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Physik 多軸壓電

Physik PI多軸壓敏儀允許在多達6個軸上以亞納米級精度進行定位和掃描，包括所有傾斜和旋轉方向。從特別緊湊的壓電立方體到具有大孔徑和低剖面的設計，有許多變體可供選擇。

Physik XYZ 掃描儀是定位技術的通用工作臺。它們的應用包括樣品定位、光學計量、光纖定位和光子學或原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統(tǒng)均經過工廠測試，并帶有測量協(xié)議的預設交付。

P-611.3 納米立方體XYZ系統(tǒng)®

緊湊型多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖調整

XYZ 帶光圈的 Piezotic

行程可達 120 μm × 120 μm × 120 μm

超緊湊：44 mm × 44 mm × 44 mm

分辨率高達 0.2 nm

快速響應

無間隙和高精度固態(tài)導軌

通過PICMA®壓電陶瓷促動器實現超長的使用壽命

用于快速掃描

帶集成光纖支架的版本

特別具有成本效益的系統(tǒng)

應用

光子學/集成光學

顯微操作

生物工藝學

半導體測試

光纖定位

通過無間隙固態(tài)接頭導向裝置實現高導向精度

固態(tài)接頭導軌無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性，對沖擊載荷和振動不敏感。它們具有 100% 真空能力，可在很寬的溫度范圍內運行。

PICMA 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命®

獲得專利的PICMA®壓電陶瓷促動器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA®促動器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣致動器的十倍。經過 100 億次循環(huán)驗證，無一次故障。

P-611.3S

P-611.3SF

P-611.3O

P-611.3OF