德國MLase準分子激光器 MLI- 500LC / 1000LC 產(chǎn)品描述
MLase產(chǎn)品型號:
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI - 200 / 500 / 1000
MLI-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-200/500/1000準分子激光器
MLI系列的現(xiàn)代緊湊型準分子激光器為193 nm或248 nm的紫外光源,脈沖能量高達16 mj,重復頻率可達1,000 Hz。
具有市場上最高的使用壽命和可靠性以及最低的運營成本的獨立設備。適用于由于均勻光束剖面和能量穩(wěn)定而要求的應用。
使用LC添加劑的準分子激光器還可以選擇主動水冷卻ρ(通過家用水或外部熱交換器;不使用DI水)來穩(wěn)定連續(xù)運行。
主要功能
? 工業(yè)設計
客戶利益
? 高可靠性
? 維護成本低
? 100%占空比
? 電暈預電離? 均質梁輪廓
? 固態(tài)電路? 立即可用,無老化
? 管子技術? 管道全金屬密封
? 壽命延長數(shù)十億
脈沖
? 能量監(jiān)測器? 能量穩(wěn)定化
? 緊湊型Excimerlaser,
單相
? 易于操作,易于集成
? 水冷卻器
德國MLase準分子激光器 MLI- 500LC / 1000LC 產(chǎn)品描述