德國(guó)MLase準(zhǔn)分子激光器MLI-500,ArF、KrF
MLase MLI 系列由具有直接波長(zhǎng)的準(zhǔn)分子激光器組成,適用于工業(yè)應(yīng)用。當(dāng)然,我們可以調(diào)整我們的基本設(shè)備以滿足您的個(gè)性化需求。
MLase 的現(xiàn)代緊湊型 MLI 準(zhǔn)分子激光器是波長(zhǎng)為 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達(dá) 16 mJ 的高脈沖能量和高達(dá) 1,000 Hz 的脈沖重復(fù)頻率。
MLase是市場(chǎng)上使用壽命最長(zhǎng)、可靠性最高、運(yùn)營(yíng)成本低的獨(dú)立設(shè)備。它們均勻的鋼型材和能量穩(wěn)定性使它們非常適合要求苛刻的應(yīng)用。
MLase的LC準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)還能夠進(jìn)行主動(dòng)水冷卻(使用生活用水或外部熱交換器;無(wú)需純凈水),以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運(yùn)行。
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常用型號(hào):
MLI-200
MLI-500
MLI-1000
參數(shù)介紹:
參數(shù)
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ArF
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ArF
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ArF
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KrF
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KrF
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KrF
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波長(zhǎng)(納米)
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193
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193
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193
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248
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248
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248
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脈沖重復(fù)頻率(赫茲)
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200
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500
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1000
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200
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500
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1000
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穩(wěn)定的脈沖能量 (mJ)
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6
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6
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6
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10
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10
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10
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穩(wěn)定平均功率 (W)
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1,2
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3,0
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6,0
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2,0
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5,0
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10
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脈沖穩(wěn)定性(標(biāo)準(zhǔn)偏差%)
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2
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2
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2
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2
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2
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2
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光束寬度(FWHM,VxHmm)
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6×3
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6×3
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6×3
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6×3
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6×3
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6×3
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光束發(fā)散(FWHM,VxHmm)
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2×1
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2×1
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2×1
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2×1
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2×1
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2×1
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脈沖長(zhǎng)度
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5-10
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5-10
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5-10
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5-15
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5-15
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5-15
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張曼麗
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德國(guó)MLase準(zhǔn)分子激光器MLI-500,ArF、KrF