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德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

    

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品牌mlase 有效期至長期有效 最后更新2023-02-27 16:20
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德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

 

MLase MLI 系列由具有直接波長的準分子激光器組成,適用于工業(yè)應用。當然,我們可以調(diào)整我們的基本設備以滿足您的個性化需求。

MLase 的現(xiàn)代緊湊型 MLI 準分子激光器是波長為 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的脈沖重復頻率。

MLase是市場上使用壽命最長、可靠性最高、運營成本低的獨立設備。它們均勻的鋼型材和能量穩(wěn)定性使它們非常適合要求苛刻的應用。

MLase的LC準分子激光系統(tǒng)還能夠進行主動水冷卻(使用生活用水或外部熱交換器;無需純凈水),以實現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運行。

 

?

 

常用型號:

MLI-200

MLI-500

MLI-1000

參數(shù)介紹:

參數(shù)

ArF

ArF

ArF

KrF

KrF

KrF

波長(納米)

193

193

193

248

248

248

脈沖重復頻率(赫茲)

200

500

1000

200

500

1000

穩(wěn)定的脈沖能量 (mJ)

6

6

6

10

10

10

穩(wěn)定平均功率 (W)

1,2

3,0

6,0

2,0

5,0

10

脈沖穩(wěn)定性(標準偏差%)

2

2

2

2

2

2

光束寬度(FWHM,VxHmm)

6×3

6×3

6×3

6×3

6×3

6×3

光束發(fā)散(FWHM,VxHmm)

2×1

2×1

2×1

2×1

2×1

2×1

脈沖長度

5-10

5-10

5-10

5-15

5-15

5-15

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德國MLase準分子激光器MLI-500,ArF、KrF

 

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