APT勻膠旋涂?jī)xSPIN150i
APT勻膠旋涂?jī)x
Spin Processor勻膠旋涂?jī)xPOLOS系列
德國(guó)POLOS系列勻膠旋涂?jī)x提供了先進(jìn)、可重復(fù)的工藝流程控制方案.
一個(gè)高效的空氣動(dòng)力學(xué)腔體確保旋涂的高度均勻性,天然聚丙烯
(NPP)或聚四氟?乙烯(PTFE)材質(zhì),整機(jī)無(wú)?金屬裸露,無(wú)交叉污染,
易清洗維護(hù),為用戶帶來(lái)全新的操作體驗(yàn).
操作控制器可拆卸,全尺寸的觸摸屏,可戴手套操作,耐化學(xué)性。
系統(tǒng)參數(shù)表
SPIN150i SPIN200i
程序段數(shù): 無(wú)限制 無(wú)限制
操作步數(shù): 無(wú)限制 無(wú)限制
旋轉(zhuǎn)速度: 0-12,000 rpm ±1rpm steps 0-12,000 rpm ±1rpm steps
旋轉(zhuǎn)精度: ± 0.1 rpm ± 0.1 rpm
旋轉(zhuǎn)方向: 順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺動(dòng) 順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺動(dòng)
最大加速度: 30,000 rpm/sec 30,000 rpm/sec
旋轉(zhuǎn)時(shí)間: 無(wú)限制*, ± 0.1 seconds steps 無(wú)限制*, ± 0.1 seconds steps
基片范圍: 160mm 直徑or 4?″ ?片 260 mm 直徑or 6?″ ?片
腔體直徑: 202 mm 302 mm
外形尺寸: 274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm 380 (w) x 307 (h) x 559 (d) mm
勻膠旋涂?jī)xSPIN PROCESSOR
1、運(yùn)行條件
外殼材質(zhì):天然聚丙烯(NPP)或聚四氟乙烯(PTFE)
腔體材質(zhì):天然聚丙烯(NPP)或聚四氟乙烯(PTFE)
外部連接:通過(guò)USB連接;
輸入電壓:200-240VAC、50/60 ;
功率消耗:最?大500w
最大電流:2,5A
真空吸附:-65kPa(-19inchHg),≥80lpm,Tube OD Ø8mm
馬達(dá)保護(hù):20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm(可關(guān)閉)
排廢連接:1” M-NPT
2、清晰可見的工藝處理過(guò)程
可拆卸,與主機(jī)分離的多功能控制器
每?步運(yùn)?行的實(shí)時(shí)參數(shù),看得?用戶常為在工藝處理過(guò)程中不能?自由調(diào)節(jié)交互
處理?而苦惱。
全彩觸摸屏界?面,所見即所得
操作安全,相當(dāng)重要
堅(jiān)固的帶有鉸鏈的防護(hù)蓋板,具有良好的操作?角度及電磁閥安全鎖定。
在程序結(jié)束直到速度完全達(dá)到0 rpm或在斷電情況下才可以開啟
APT勻膠旋涂?jī)xSPIN150i
吳要闖
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