德國(guó)ATL Laser激光器ATLEX-300-I系列
張文婧
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ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年,并于1994年通過(guò)開(kāi)發(fā)世界上第一臺(tái)緊湊型、高重復(fù)率、短脈沖準(zhǔn)分子激光器在紫外激光技術(shù)方面取得了突破。ATL通過(guò)幾代產(chǎn)品完善了這一革命性概念,如今,ATLEX產(chǎn)品系列以其獲得專(zhuān)利的預(yù)電離和放電技術(shù)引領(lǐng)世界。ATL繼續(xù)開(kāi)發(fā)緊湊型短脈沖準(zhǔn)分子激光器,并保持該領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)先地位。
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ATLEX-300-I系列激光器
應(yīng)用領(lǐng)域:
微加工
激光燒蝕
醫(yī)學(xué)(屈光手術(shù))
光譜學(xué)
計(jì)量學(xué)
德國(guó)ATL LASER 型號(hào):ATLEX-300-I-F2
氣體介質(zhì):F2
波長(zhǎng):157nm
高壓開(kāi)關(guān)技術(shù):固態(tài)開(kāi)關(guān)
最大脈沖能量:1mJ
最大平均功率:0.2W
最大重復(fù)率:300Hz
脈沖持續(xù)時(shí)間:5–8ns
尺寸:4x6mm
光束發(fā)散:1x2mrad
能量穩(wěn)定性:<3%
尺寸:540x470x370mm
重量:60kg
冷卻:空氣冷卻
電力要求:230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國(guó)ATL LASER 型號(hào):ATLEX-300-I-ArF
氣體介質(zhì):ArF
波長(zhǎng):193nm
高壓開(kāi)關(guān)技術(shù):固態(tài)開(kāi)關(guān)
最大脈沖能量:10mJ
最大平均功率:2.4W
最大重復(fù)率:300Hz
脈沖持續(xù)時(shí)間:5–8ns
尺寸:4x6mm
光束發(fā)散:1x2mrad
能量穩(wěn)定性:<3%
尺寸:540x470x370mm
重量:60kg
冷卻:空氣冷卻
電力要求:230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國(guó)ATL LASER 型號(hào):ATLEX-300-I-KrF
氣體介質(zhì):KrF
波長(zhǎng):248nm
高壓開(kāi)關(guān)技術(shù):固態(tài)開(kāi)關(guān)
最大脈沖能量:15mJ
最大平均功率:4.0W
最大重復(fù)率:300Hz
脈沖持續(xù)時(shí)間:5–8ns
尺寸:4x6mm
光束發(fā)散:1x2mrad
能量穩(wěn)定性:<3%
尺寸:540x470x370mm
重量:60kg
冷卻:空氣冷卻
電力要求:230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國(guó)ATL LASER 型號(hào):ATLEX-300-I-XeCl
氣體介質(zhì):XeCl
波長(zhǎng):308nm
高壓開(kāi)關(guān)技術(shù):固態(tài)開(kāi)關(guān)
最大脈沖能量:8mJ
最大平均功率:2.0W
最大重復(fù)率:300Hz
脈沖持續(xù)時(shí)間:5–8ns
尺寸:4x6mm
光束發(fā)散:1x2mrad
能量穩(wěn)定性:<3%
尺寸:540x470x370mm
重量:60kg
冷卻:空氣冷卻
電力要求:230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國(guó)ATL LASER 型號(hào):ATLEX-300-I-XeF
氣體介質(zhì):XeF
波長(zhǎng):351nm
高壓開(kāi)關(guān)技術(shù):固態(tài)開(kāi)關(guān)
最大脈沖能量:7mJ
最大平均功率:1.7W
最大重復(fù)率:300Hz
脈沖持續(xù)時(shí)間:5–8ns
尺寸:4x6mm
光束發(fā)散:1x2mrad
能量穩(wěn)定性:<3%
尺寸:540x470x370mm
重量:60kg
冷卻:空氣冷卻
電力要求:230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國(guó)ATL Laser激光器ATLEX-300-I系列