德國ATL Laser激光器ATLEX-300-I系列
張文婧
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ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年，并于1994年通過開發(fā)世界上第一臺緊湊型、高重復率、短脈沖準分子激光器在紫外激光技術方面取得了突破。ATL通過幾代產品完善了這一革命性概念，如今，ATLEX產品系列以其獲得專利的預電離和放電技術引領世界。ATL繼續(xù)開發(fā)緊湊型短脈沖準分子激光器，并保持該領域的技術領先地位。
ATLEX-300-I系列激光器，ATLEX-500-I系列激光器，ATLEX-1000-I系列激光器，ATLEX-500-L系列激光器，ATLEX-1000-L系列激光器，ATLEX-300-FBG系列激光器，ATLEX-500-FBG系列激光器，ATLEX-LR系列激光器，ATLEX-S系列激光器
ATLEX-300-I系列激光器
應用領域：
微加工
激光燒蝕
醫(yī)學（屈光手術）
光譜學
計量學
德國ATL LASER 型號：ATLEX-300-I-F2
氣體介質：F2
波長：157nm
高壓開關技術：固態(tài)開關
最大脈沖能量：1mJ
最大平均功率：0.2W
最大重復率：300Hz
脈沖持續(xù)時間：5–8ns
尺寸：4x6mm
光束發(fā)散：1x2mrad
能量穩(wěn)定性：<3%
尺寸：540x470x370mm
重量：60kg
冷卻：空氣冷卻
電力要求：230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國ATL LASER 型號：ATLEX-300-I-ArF
氣體介質：ArF
波長：193nm
高壓開關技術：固態(tài)開關
最大脈沖能量：10mJ
最大平均功率：2.4W
最大重復率：300Hz
脈沖持續(xù)時間：5–8ns
尺寸：4x6mm
光束發(fā)散：1x2mrad
能量穩(wěn)定性：<3%
尺寸：540x470x370mm
重量：60kg
冷卻：空氣冷卻
電力要求：230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國ATL LASER 型號：ATLEX-300-I-KrF
氣體介質：KrF
波長：248nm
高壓開關技術：固態(tài)開關
最大脈沖能量：15mJ
最大平均功率：4.0W
最大重復率：300Hz
脈沖持續(xù)時間：5–8ns
尺寸：4x6mm
光束發(fā)散：1x2mrad
能量穩(wěn)定性：<3%
尺寸：540x470x370mm
重量：60kg
冷卻：空氣冷卻
電力要求：230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國ATL LASER 型號：ATLEX-300-I-XeCl
氣體介質：XeCl
波長：308nm
高壓開關技術：固態(tài)開關
最大脈沖能量：8mJ
最大平均功率：2.0W
最大重復率：300Hz
脈沖持續(xù)時間：5–8ns
尺寸：4x6mm
光束發(fā)散：1x2mrad
能量穩(wěn)定性：<3%
尺寸：540x470x370mm
重量：60kg
冷卻：空氣冷卻
電力要求：230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國ATL LASER 型號：ATLEX-300-I-XeF
氣體介質：XeF
波長：351nm
高壓開關技術：固態(tài)開關
最大脈沖能量：7mJ
最大平均功率：1.7W
最大重復率：300Hz
脈沖持續(xù)時間：5–8ns
尺寸：4x6mm
光束發(fā)散：1x2mrad
能量穩(wěn)定性：<3%
尺寸：540x470x370mm
重量：60kg
冷卻：空氣冷卻
電力要求：230VAC/6,3A/1phase/50-60Hz
德國ATL Laser激光器ATLEX-300-I系列
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