VAT蝶閥61236-PA

　　一、瑞士VAT公司介紹

鄧蕾 QQ：2111646792   手機：13021972807 電話：010-64714988-223 傳真：010-64714988-668 郵件：tk8@handelsen.cn

　　VAT集團于1965年創(chuàng)立，總部位于瑞士，全球約1200名雇員。VAT是國際知名的真空閥，多閥模塊，邊焊接波紋管的制造商，VAT基于不斷的創(chuàng)新和對質(zhì)量和可靠性的專一專注，在真空閥領域確立了全球領導地位。VAT可以提供1000多種標準產(chǎn)品，為客戶提供最廣泛的業(yè)務范圍。VAT根據(jù)“零缺陷”原則生產(chǎn)真空閥，已通過ISO 9001和ISO 14001認證，提供最高質(zhì)量的產(chǎn)品。

　　二、瑞士VAT部分產(chǎn)品介紹

　　1.VAT閘閥

　　具有模塊化執(zhí)行機構概念的VAT緊湊型迷你超高壓閘閥非常適合工業(yè)和研發(fā)應用。它通常用于半導體工藝系統(tǒng)的管道中。插入版本以集成到真空系統(tǒng)中(無閥體)，更高的密封材料(Chemraz，EPDM等)，帶有VITON制成的密封件，可更換，特殊的閥門澆口，適合安裝各種孔板。

　　2.VAT蝶閥

　　VAT蝶閥是下游應用的蝶形壓力控制閥。帶有非?？焖偾覉怨痰膱?zhí)行器，高性能，集成控制器，具備極短的控制響應時間和位置指示，自動維護指示，出色的抗污染能力。該閥門的控制器可確保非?？焖俸蜏蚀_的壓力控制。通過操作LEARN功能，在啟動時只需要執(zhí)行一次，即可自動確定系統(tǒng)參數(shù)。由于采用了自適應算法，因此控制器可以連續(xù)適應過程條件(氣體種類，氣體流量)，從而確保隨時進行最佳壓力控制。

　　3.VAT轉(zhuǎn)換閥

　　VAT轉(zhuǎn)換閥用于200、300和450毫米晶圓的半導體生產(chǎn)系統(tǒng)中的負載鎖定和處理室隔離。雙作用氣動執(zhí)行器，主體材質(zhì)為鋁，不銹鋼，波紋管受保護，使用壽命長，大于500萬次循環(huán)的預期壽命，公稱內(nèi)徑32x222到56x496毫米。

　　4.VAT角閥

　　VAT角閥適用于大多數(shù)腐蝕性氣體，除氣率極低。當排氣速率極低時，對于特高壓系統(tǒng)的泵送和排氣很重要。耐高壓差，固定式可旋轉(zhuǎn)CF法蘭，在最高溫度80°C下可以進行300萬次循環(huán)，主體材質(zhì)不銹鋼，執(zhí)行器類型分為手動執(zhí)行器(手輪)，氣動執(zhí)行器(單閉孔，帶有閉合彈簧NC)。

　　5.VAT軟啟動閥

　　VAT軟啟動閥由兩半節(jié)流閥瓣組成，它們支撐在一條公共軸上，并通過彈簧保持在打開位置。軸保持在ISO-KF對中環(huán)中，該對中環(huán)形成為帶有閥座的主體。將它們安裝在兩個ISO-KF法蘭(而不是定心環(huán))之間時，必須將打開的閥瓣對準真空管路中的氣流。當粗加工系統(tǒng)投入運行時，在粗加工管線中會產(chǎn)生強氣流，該氣流會立即關閉閥門，并使管段減少約99%。當達到約2%的壓差時，在15mbar時，閥門打開并幾乎毫無阻礙地離開管道，以進行進一步泵送。

　　三、供應部分產(chǎn)品型號

　　1.VAT閘閥

　?、匍l閥01024-KE01

　?、陂l閥01028-KE01

　　③閘閥01032-KE01

　?、荛l閥01034-KE01

　　⑤閘閥01024-KE11

　　2.VAT蝶閥

　?、俚y61236-PA

　　②蝶閥61238-PA

　?、鄣y61240-PA

　?、艿y61244-PA

　?、莸y61246-PA

　　3.VAT轉(zhuǎn)換閥

　?、俎D(zhuǎn)換閥02209-AA24

　?、谵D(zhuǎn)換閥02210-AA24

　?、坜D(zhuǎn)換閥02212-AA24

　?、苻D(zhuǎn)換閥02213-AA24

　?、蒉D(zhuǎn)換閥02241-AA24

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