產(chǎn)品介紹
ADL GG 12 Beam
輸出:功率,1,2 kW 電壓,2000 V 電流,1A
各種特殊設(shè)備可用于操作離子源(Kaufmann 和 ECR),也可根據(jù)要求提供其他輸出電壓或功率。
所有設(shè)備都可選配 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS 232/485。
特點(diǎn)
廣泛用于離子束和等離子工藝技術(shù)
蝕刻、濺射等等
創(chuàng)新應(yīng)用,包括微電子、光學(xué)、傳感器
常用型號(hào)
ADL GG 03 Accelerator
ADL GG 03.1 Accelerator
ADL GG 08 Accelerator
ADL GG 12 Beam
ADL GG 12.1 Beam
技術(shù)數(shù)據(jù)
顯示 3½ 位數(shù)字顯示電流和電壓
調(diào)節(jié)電流或電壓調(diào)節(jié)
通過(guò)前面板或外部通過(guò)接口卡的手動(dòng)操作模式
設(shè)定點(diǎn) 0 ... 100% 電流和電壓標(biāo)稱值
精度 + / - 電流或電壓標(biāo)稱值的 1%
電源輸入
電源連接 230 V, + / - 10%, 50/60 Hz, PE
風(fēng)冷一體式風(fēng)扇,最高環(huán)境溫度40°C
噪聲發(fā)射 LpA <70 dB (A)
機(jī)械數(shù)據(jù)
尺寸(不含連接器) 寬度:218 mm (½ 19"),高度:132.5 mm (3 U),長(zhǎng)度 560 mm
重量(不含包裝) 11 kg