產(chǎn)品介紹
輸出:頻率,20 kHz 電壓,+ / - 800 V 功率,105kW
高達 140 千瓦
中頻/雙極脈沖發(fā)生器 HXB 900 - HXB 1400 將高性能、緊湊型設計和快速滅弧結合在一個穩(wěn)定的控制柜中。這種雙極脈沖發(fā)生器適用于長達 4 米的陰極反應涂層工藝。
陰極功率的自動平衡和不對稱脈沖功率的功率商調節(jié)器(高達 10: 90%)優(yōu)化了鍍層質量并延長了靶材壽命。發(fā)生器自動記錄所有相關工藝參數(shù)并不斷調整其滅弧。調試或目標更改無需手動設置。即使在非空調環(huán)境中,強大的水冷系統(tǒng)也能確保最大的可靠性。
特點
輸出功率 90 kW -140 kW
水冷
陰極反應涂層工藝長達 4 米
自動平衡 陰極輸出
不對稱 脈沖功率的功率商控制器(高達 10: 90%)
全自動電弧管理 (0.3mJ/kW)
工藝重現(xiàn)性
優(yōu)于 2%
常用型號
ADL HXB 900
ADL HXB 1050
ADL HXB 1200
ADL HXB 1400
技術數(shù)據(jù)
電流調節(jié)、電壓調節(jié)或功率調節(jié),
電壓控制自動點火
通過接口卡的外部操作模式
精度 + / - 電流、電壓或功率標稱值的 1%
脈沖功率分配 10 至 90% 或自動平衡
脈沖頻率 20 kHz,固定
脈沖關閉時間(消隱時間) 2 µs 至 20 µs(自動調整)
工作原理 雙極
滅弧自動參數(shù)調整
刪除時間 <2 µs
電弧能量 <0.3 mJ/kW