德國ATL LASER激光器ATLEX-1000-L-KrF技術(shù)指導(dǎo)
王子豪
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公司介紹:
ATL Lasertechnik GmbH成立于1993年,并于1994年通過開發(fā)世界上第一臺緊湊型、高重復(fù)率、短脈沖準(zhǔn)分子激光器在紫外激光技術(shù)方面取得了突破。ATL通過幾代產(chǎn)品完善了這一革命性概念,如今,ATLEX產(chǎn)品系列以其獲得專利的預(yù)電離和放電技術(shù)引領(lǐng)世界。ATL繼續(xù)開發(fā)緊湊型短脈沖準(zhǔn)分子激光器,并保持該領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)先地位。
產(chǎn)品系列示例:
ATLEX-300-I系列激光器
ATLEX-500-I系列激光器
ATLEX-1000-I系列激光器
ATLEX-500-L系列激光器
ATLEX-1000-L系列激光器
ATLEX-300-FBG系列激光器
ATLEX-500-FBG系列激光器
ATLEX-LR系列激光器
ATLEX-S系列激光器
ATLEX-1000-L系列激光器
產(chǎn)品特點(diǎn):
固態(tài)開關(guān)
延長動(dòng)態(tài)和靜態(tài)氣體壽命
風(fēng)冷/可選液冷
用于系統(tǒng)集成的RS-485、RS232、USB和光纖接口
可沖洗的光學(xué)支架
便于氣體處理的集成4閥系統(tǒng)
能量穩(wěn)定模式
動(dòng)態(tài)風(fēng)扇速度控制
德國ATL LASER 型號:ATLEX-1000-L-KrF
氣體介質(zhì):KrF
波長:248nm
高壓開關(guān)技術(shù):固態(tài)開關(guān)
最大脈沖能量:15mJ
最大平均功率:10.0W
最大重復(fù)率:1000Hz
脈沖持續(xù)時(shí)間:5–8ns
尺寸:6x4mm
光束發(fā)散:2x1mrad
能量穩(wěn)定性:<2%
尺寸:600x415x567mm
重量:70kg
冷卻:空氣冷卻
電力要求:230VAC/10A/1Phase/50-60Hz
德國ATL LASER激光器ATLEX-1000-L-KrF技術(shù)指導(dǎo)