Physik Instrumente線性平臺 H-811.I2系列

應用領(lǐng)域

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六腳架支持工業(yè)機器人科學儀器

半導體技術(shù)

顯微鏡檢查

硅光子學

醫(yī)療技術(shù)

材料研究

機械工業(yè)

自動化

梁線儀器

添加劑制造

主動對準

線性平臺

PI提供了廣泛的電動線性平臺產(chǎn)品組合。種類繁多的應用還意味著線性軸的技術(shù)可能性也非常廣泛。行程范圍從幾毫米到幾米，精度等級從納米到微米：PI使驅(qū)動器，導向器或傳感器技術(shù)適應應用條件。

有許多不同型號的真空版本。多軸組合可借助轉(zhuǎn)接器支架實現(xiàn)，或者通過匹配的Z平臺和旋轉(zhuǎn)平臺更加緊湊。

運動控制器可作為臺式設(shè)備，機架版本或緊湊型OEM設(shè)備使用。所有這些因素的共同因素是通過通用命令集（GCS）進行命令，該命令簡化了控制和編程，并且與驅(qū)動器類型無關(guān)。

可提供具有ACS運動控制器的多軸工業(yè)應用中的多軸系統(tǒng)。這樣可確保通過Fieldbus接口輕松集成，以實現(xiàn)精密和以運動為中心的工業(yè)應用。

 

1.U-523PILine®線性平臺

帶有超聲波壓電馬達的緊湊型線性平臺

精密級線性定位平臺

PILine®位移臺特別適合需要快速精確定位的應用。關(guān)閉時，自鎖驅(qū)動器會以機械方式穩(wěn)定工作臺的位置。因此，能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著減少。這些特性使電池供電或?qū)崦舾械牡驼伎毡葢檬芤?。軸的位置由編碼器測量，光學參考開關(guān)可實現(xiàn)可靠的可重復運動。壓電驅(qū)動原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。

使用增量線性編碼器進行高精度位置測量

非接觸式光學編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械間隙或彈性變形對測量沒有影響。

PILine®超聲波壓電馬達

PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動器，該壓電致動器通過一個耦合元件預加載在可移動的導向流道上。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩。致動器的變形導致聯(lián)接元件相對于轉(zhuǎn)輪周期性的對角運動。每個周期產(chǎn)生的進料為幾納米。高頻導致高速。將壓電陶瓷執(zhí)行器預緊抵在轉(zhuǎn)輪上，可確保驅(qū)動器在靜止和關(guān)閉時自動鎖定。

應用領(lǐng)域

顯微操作，自動化，生物技術(shù)，樣品處理，樣品定位，空間有限的應用，10 -6 hPa的真空應用（可選）。

 

2.精度最高的N-565線性平臺

具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進驅(qū)動器

NEXACT®參考級線性平臺

帶有NEXACT®PiezoWalk®驅(qū)動器的線性平臺可在長行程范圍內(nèi)在納米范圍內(nèi)進行高精度定位。它們配備有直接測量的線性編碼器和交叉滾子軸承，可實現(xiàn)最高的精度。

使用PIOne線性編碼器進行直接位置測量

PI開發(fā)了高分辨率的PIOne編碼器，并通過對測量值進行相應的處理，使位置分辨率大大小于1納米。另外，由于信號周期短和信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1％。PIOne編碼器在評估參考信號時支持方向感測。

PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率和低磨損

PiezoWalk®技術(shù)結(jié)合了壓電執(zhí)行器和壓電馬達的技術(shù)優(yōu)勢。PiezoWalk®行走驅(qū)動器不僅提供亞納米級分辨率，高作用力和高剛度，而且理論上允許無限的行駛范圍。與其他壓電驅(qū)動原理相反，PiezoWalk®行走驅(qū)動器不受滑動摩擦的影響。它們基于沿著滑道步進的多個壓電執(zhí)行器的靜摩擦接觸。靜止時，PiezoWalk®行走驅(qū)動器是自鎖的，不消耗能量，并且不發(fā)熱。

應用領(lǐng)域

樣品處理，樣品定位，具有高精度和穩(wěn)定性的光學或機械組件，半導體行業(yè)的精密機械，顯微操作，顯微鏡，自動化，在狹窄空間中的應用，在非磁性環(huán)境中的應用。

 

3.L-812高負載線性平臺

步進或伺服電機•驅(qū)動螺桿•性價比高

強大的線性平臺，用于要求苛刻的工業(yè)應用

精密滾珠絲杠，高性能步進或同步伺服電機，重型循環(huán)滾珠軸承以及精密旋轉(zhuǎn)編碼器可在高負載下連續(xù)可靠地運行?？蛇x的抱閘允許用作Z軸。滾珠絲杠可以在不拆卸的情況下從外部進行補充潤滑，以確保高可靠性和長壽命。

開拓設(shè)計

L-812系列的循環(huán)球軸承導軌設(shè)計用于高負載能力和動態(tài)性能。電機的高分辨率可改善跟蹤性能，減小跟蹤誤差并縮短建立時間。

選項

步進或同步伺服電機

抱閘

旋轉(zhuǎn)編碼器，增量式或絕對式

折疊式傳動系統(tǒng)可減少總長度

同步伺服電機

這些電動機在較大的轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)具有較高的定位精度和較高的過載能力。高扭矩和低慣量確保了驅(qū)動器的高動態(tài)。這些電機的使用壽命長，性能高且堅固耐用，可在工業(yè)自動化應用中獲得出色的效果。

步進電機

強大且低振動的2相步進電機即使在沒有位置控制的情況下也可以實現(xiàn)精確定位。

應用領(lǐng)域

電子產(chǎn)品生產(chǎn)：微裝配。傳感器/攝像頭的位置。

激光材料加工：激光微加工。

工業(yè)噴墨印刷。矩陣板和印刷電路板的生產(chǎn)。

測試與檢查。

醫(yī)療設(shè)備制造：氣密焊接?；?qū)嶒炇业臋C器人系統(tǒng)。

 

空氣軸承和位移臺

空氣軸承臺用于需要無振動運動，速度需要高度恒定且要求最佳角度重復性的場合。

空氣軸承避免了摩擦，磨損和反沖效應。PIglide線性，旋轉(zhuǎn)和球面軸承是精密組件，可以集成和電動化用于OEM，工業(yè)和研究市場。

 

1.A-142 PIglide音圈線性平臺，帶空氣軸承

   高性能•兼容無塵室•垂直安裝選件

產(chǎn)品總覽

高性能緊湊型音圈線性平臺，帶有空氣軸承導軌。免維護，無限壽命，非常適合具有高占空比和嚴格體積限制的高動態(tài)應用。

集成的平衡選項可實現(xiàn)垂直方向的操作。

配件和選件

PIglide過濾器和空氣制備套件

垂直安裝的氣動平衡

應用領(lǐng)域

線性位移臺非常適合高精度應用，例如計量學，光子學對準系統(tǒng)，光學器件定位和掃描。非接觸式設(shè)計是潔凈室應用的理想選擇。電纜未移動。

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2.A-110 PIglide LC線性平臺，帶空氣軸承

廉價的高性能納米定位臺

產(chǎn)品總覽

PIglide定位系統(tǒng)具有磁性直線電機，磁性預加載的空氣軸承和光學線性編碼器：非接觸和無摩擦運動，可提供最高的準確性和可靠性

應用領(lǐng)域

PIglide定位系統(tǒng)非常適合許多高精度應用，例如半導體或平板顯示器制造中的計量，光子學和精密掃描。

由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。

配件和選件

編碼器

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸和多軸運動控制器

XY設(shè)置和個別配置

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)

 

3.A-141 PIglide MB微型線性平臺，帶空氣軸承

高性能，無塵室兼容，可定制 

產(chǎn)品總覽

帶有空氣軸承的PIglide MB線性位移臺配有伺服線性電機驅(qū)動器，該驅(qū)動器帶有預裝的空氣軸承和集成的光學線性編碼器。此階段可提供微型格式的超高精度。非接觸組件的組合形成了一個無摩擦運動平臺，該平臺可提供最高的性能，質(zhì)量和使用壽命。

應用領(lǐng)域

該載物臺非常適合許多高精度應用，例如計量，光子對準，光學定位和掃描。非接觸式設(shè)計也是潔凈室應用的理想選擇。電纜未移動?？諝廨S承模塊提供鎖定設(shè)計，以實現(xiàn)最高的位置穩(wěn)定性。

配件和選件

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸和多軸運動控制器

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)

 

旋轉(zhuǎn)臺

對旋轉(zhuǎn)運動的要求顯示出范圍很廣的各種尺寸，負載能力和定位精度。PI提供具有各種電動和導向選項的平臺：空氣軸承，扭矩馬達驅(qū)動，蝸輪蝸桿耦合電動，小型壓電馬達平臺以及帶有正交傾斜安裝選項的專用測角儀平臺。它們都可以通過相應的線性，垂直和XY平臺安裝到多軸組合上。 

 

1.A-68x PIglide RLA旋轉(zhuǎn)平臺，帶空氣軸承，大孔徑

無摩擦，電動

產(chǎn)品總覽

PIglide RLA系列的直接驅(qū)動平面旋轉(zhuǎn)平臺設(shè)計為具有最高的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺具有出色的行程精度，平坦度和擺動性能。

絕對值編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。

應用領(lǐng)域

斷層掃描，束線系統(tǒng)，晶圓計量，晶圓檢查，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準，掃描。

由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。

三相轉(zhuǎn)矩電機

無刷

低齒槽轉(zhuǎn)矩

配件和選件

增量或絕對編碼器

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸或多軸運動控制器和伺服驅(qū)動器

多軸/自定義設(shè)置

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)

 

2.A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉(zhuǎn)平臺

無摩擦，電動

產(chǎn)品總覽

PIglide RL系列的直接驅(qū)動式薄型旋轉(zhuǎn)位移臺采用薄型設(shè)計，可實現(xiàn)最高的精度?？梢越M合使用各種選項，以創(chuàng)建理想的解決方案，以實現(xiàn)點對點索引或恒速掃描。RL位移臺提供卓越的行程精度，平坦度和擺動性能。

絕對值編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。

應用領(lǐng)域

光學對準，晶圓檢查，晶圓對準，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準，掃描。

由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。

三相轉(zhuǎn)矩電機

無刷

無槽

低齒槽轉(zhuǎn)矩

配件和選件

增量或絕對編碼器

真空饋通

在靜止狀態(tài)下通過電磁預載自鎖

根據(jù)要求清除光圈

PIglide過濾器和空氣制備套件

單軸或多軸運動控制器和伺服驅(qū)動器

多軸/自定義設(shè)置

用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)

常用型號