Busch羅茨真空泵TYR WT 0280 CV
吳亞男小組
QQ:2853369884
手機(jī):17718583804
電話:010-64714988-212
傳真:010-64714988-668
郵件:tk2@handelsen.cn |
|
|
體積流量698 – 1355 m³/h;
最大壓差 (hPa (mbar))+1000 hPa (mbar);
電機(jī)額定功率37.0 kW;
風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速4100 min?¹;
進(jìn)氣口尺寸Ø 159mm;
重量(約)326kg;
Busch型號(hào)
Busch真空泵7AA100L 04K B14
Busch真空泵RA0302D503
Busch過(guò)濾器0532-000-508
Busch螺桿真空泵COBRANX0450/0650A
Busch真空泵RA0302D
Busch真空泵R5RA0025/0040F
TORRI BD 0100–0600 A
極限壓力:min. 0.01 hPa (mbar) max. 0.001 hPa (mbar)
額定抽速:min. 100 m³/h max. 600 m³/h
用于 LOAD LOCK 的緊湊、高效解決方案。
靈活
對(duì) load lock 腔體實(shí)現(xiàn)最短抽真空時(shí)間
高效
能耗低,維護(hù)工作量少,正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)
結(jié)構(gòu)緊湊
尺寸小巧、重量輕盈
市場(chǎng)和應(yīng)用
半導(dǎo)體生產(chǎn)
輕型
TORRI BD 0100A參數(shù)
額定抽速|(zhì)100m2/h
極限壓力|0.01 hPa(mbar)
前級(jí)泵電機(jī)額定功率|2.2kW
前級(jí)泵電機(jī)額定轉(zhuǎn)速|(zhì)5500min-1
極限壓力時(shí)的功耗|0.4kW
噪聲級(jí)(ISO2151)|<60dB(A)
耗水量|1.0l/min
重量(約)|60kg
尺寸(LxWxH)|450×230×275mm
進(jìn)氣口|DN50KF
排氣口|DN25KF
Busch羅茨真空泵TYR WT 0280 CV