德國XITON激光器EXCITE-266技術指導
EXCITE是一種單頻全固態(tài)激光系統(tǒng),適用于紫外應用,如晶圓檢測、光譜儀校準和干涉測量應用。小于30MHz的頻譜帶寬接近其理論傅立葉極限。
激光器在M²<1.6的衍射極限光束中提供短時間脈沖,重復率在1到30kHz之間。平均輸出功率在266nm時超過150mW,或在355nm時超過500mW,在堅固的工業(yè)設計中具有超穩(wěn)定的脈沖軌跡和超過4m的長相干長度。
XITON EXCITE266
波長:266nm
頻譜帶寬:<60MHz
相干長度:>2.5m
平均功率:>150mW
脈沖持續(xù)時間:10-15ns
每脈沖能量:>12.5µJ
重復頻率:1-30kHz
平方米:<1.7
脈沖到脈沖刺:σ<1.5%
德國XITON激光器EXCITE-266技術指導