瑞士INFICON分析儀TranspectorMPH

　　瑞士INFICON分析儀TranspectorMPH

 

 

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　　1、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品介紹

　　不斷上漲的硅晶片價(jià)格和成品需求意味著報(bào)廢晶片的成本比以往任何時(shí)候都高。因此，了解您的工藝并監(jiān)控缺陷已成為半導(dǎo)體制造中心的重中之重。Transpector MPH氣體分析系統(tǒng)旨在為您的所有氣體分析應(yīng)用提供行業(yè)領(lǐng)先的性能，以幫助最大限度地提高芯片產(chǎn)量并最大限度地減少工具停機(jī)時(shí)間。結(jié)合較低的總體擁有成本和較高的平均故障間隔時(shí)間，Transpector MPH比市場上任何其他殘留氣體分析儀(RGA)更能幫助您實(shí)現(xiàn)盈利。INFICON利用其在氣體分析過程控制設(shè)備方面的專業(yè)知識，創(chuàng)建了具有行業(yè)領(lǐng)先數(shù)據(jù)收集速度、最小可檢測分壓和信噪比的RGA。所有這些都不會犧牲您對INFICON Transpector氣體分析儀所期望的任何可靠性。

　　2、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品概述

　　隨著制造技術(shù)的進(jìn)步和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的變化，了解您的過程和保持產(chǎn)品質(zhì)量的需求比以往任何時(shí)候都更加重要。Transpector MPS可以通過監(jiān)控過程條件、檢測污染物和檢查泄漏來幫助您優(yōu)化過程。Transpector MPS以卓越的價(jià)值為他們的客戶提供Transpector品牌RGA的強(qiáng)大性能。Transpector MPS有100 amu和200 amu兩種版本，可讓您靈活地執(zhí)行各種功能，包括常規(guī)泄漏檢測、真空診斷和碳?xì)浠衔锓治觥＿@種多功能性Transpector MPS成為真空爐、熱處理和真空鍍膜應(yīng)用的首選傳感器。

　　3、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品特征

　　新型Transpector XPR 3+殘留氣體分析儀(RGA)提供行業(yè)領(lǐng)先的測量速度，以監(jiān)測和控制現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示器制造所需的快速過程變化。Transpector XPR 3+是現(xiàn)場漏氣、氣體純度、碳?xì)浠衔锖臀廴颈O(jiān)測的理想選擇。與定期上升率測試相比，使用Transpector XPR 3+進(jìn)行實(shí)時(shí)測量可提供遠(yuǎn)超卓著的產(chǎn)品保護(hù)。Transpector XPR 3+RGA是經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的四極桿和雙離子源傳感器，適用于濺射壓力范圍應(yīng)用。無需壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備、使用壽命長的組件以及快速檢測和診斷問題的能力相結(jié)合，可最大限度地提高工具可用性、產(chǎn)品產(chǎn)量和產(chǎn)量。該傳感器可以從高真空到20 mTorr連續(xù)運(yùn)行，無需泵。Transpector XPR 3+雙離子源腔室旨在限制涂層以保持離子源靈敏度并延長傳感器的平均維護(hù)時(shí)間。

　　4、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品原理

　　十多年來，INFICON Transpector CPM一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場領(lǐng)先的殘留氣體分析儀(RGA)過程監(jiān)控系統(tǒng)?，F(xiàn)在Transpector CPM 3通過與新傳感器和電子設(shè)備集成的經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的泵和入口系統(tǒng)提供行業(yè)領(lǐng)先的測量速度和靈敏度。Transpector CPM 3是適用于ALD、CVD、PVD和蝕刻等新型和成熟半導(dǎo)體工藝的理想RGA工藝監(jiān)控器。INFICON Transpector®單壓采樣(SPS)殘留氣體分析儀為目標(biāo)高壓工藝提供最佳的半晶圓和顯示面板保護(hù)。Transpector SPS通過對單壓力應(yīng)用最靈敏的漏氣和工藝污染檢測來最大限度地減少晶圓和面板廢料。它提供行業(yè)領(lǐng)先的檢測限和測量速度，以確保晶圓和面板的質(zhì)量和數(shù)量。Transpector SPS通過為穩(wěn)定的高壓過程提供最可靠的過程監(jiān)控來最大化過程吞吐量和產(chǎn)量。

　　5、瑞士INFICON分析儀產(chǎn)品優(yōu)勢

　　儀器將簡單且經(jīng)濟(jì)高效的入口系統(tǒng)與經(jīng)過現(xiàn)場驗(yàn)證的離子源和泵組相結(jié)合，提供低風(fēng)險(xiǎn)和高回報(bào)的氣體分析解決方案。適用于一般真空和工業(yè)應(yīng)用，Transpector SPS是真空電弧重熔(VAR)等冶金和熱處理應(yīng)用的成熟解決方案。Transpector SPS是可配置的，可以根據(jù)特定應(yīng)用和預(yù)算進(jìn)行定制。對于從1E-4 Torr到大氣壓的采樣過程壓力，可選擇標(biāo)準(zhǔn)孔板、毛細(xì)管和旁路管線組合。耐腐蝕的入口、離子源和泵組件專為在蝕刻、CVD、ALD和其他腐蝕性氣體工藝中的生存而設(shè)計(jì)。

　　6、瑞士INFICON分析儀部分產(chǎn)品型號

　?、偃鹗縄NFICONTranspectorMPH

　　②瑞士INFIConTranspector MPS

　?、廴鹗縄NFIConTranspectorXPR 3+

　?、苋鹗縄NFIConTranspectorCPM 3

　?、萑鹗縄NFICONTranspectorSPS

　?、奕鹗縄NFICONTranspectorCPM

　?、呷鹗縄NFIConQMG 700

　?、嗳鹗縄NFIConInficon Quantus LP100

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