pi-P-733.3 XYZ 壓電納米定位器：
帶孔徑的高精度 XYZ 掃描儀
X、Y 方向的行程范圍為 100 µm × 100 µm，Z 方向的行程范圍為 10 µm
由于采用電容式傳感器，分辨率可達(dá) 0.1 nm
帶直接驅(qū)動(dòng)的高速版本
可應(yīng)要求提供超高真空兼容和非磁性版本
并行運(yùn)動(dòng)學(xué)可實(shí)現(xiàn)更高的精度和動(dòng)態(tài)性
用于主動(dòng)補(bǔ)償導(dǎo)向誤差的并行計(jì)量
零間隙、高精度撓性導(dǎo)軌系統(tǒng)
通光孔徑 50 mm × 50 mm，適用于透射光應(yīng)用
pi-P-733.3 XYZ 壓電納米定位器
應(yīng)用領(lǐng)域
掃描顯微鏡
共聚焦顯微鏡
掩模/晶圓定位
表面測量技術(shù)
納米壓印
顯微操作
圖像處理/穩(wěn)定
具有高平面度和運(yùn)動(dòng)直線度的納米定位
具有電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，無需接觸。它們保證出色的運(yùn)動(dòng)線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。
自動(dòng)配置和快速組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械裝置 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。
得益于 PICMA® 壓電執(zhí)行器，使用壽命長
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護(hù)它們免受因漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障的影響。PICMA® 執(zhí)行器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣執(zhí)行器長十倍。已證明 1000 億次循環(huán)無一次故障。
零間隙撓性導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)高導(dǎo)向精度
撓性導(dǎo)軌免維護(hù)、免摩擦和免磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們 100% 真空兼容，可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。
由于平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有高跟蹤精度
所有的自由度都是根據(jù)一個(gè)單一的固定參考來測量的。軸之間不需要的串?dāng)_可以實(shí)時(shí)（取決于帶寬）主動(dòng)補(bǔ)償（主動(dòng)引導(dǎo)）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也能在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。
pi-P-733.3 XYZ 壓電納米定位器
申紫東
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