德國PI-P-541.2 ? P-542.2 XY壓電工作臺參數(shù)

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P-541.2 • P-542.2 XY壓電工作臺

§ 低外形、易于集成：16.5毫米

§ 孔徑為80 毫米 × 80 毫米

§ 行程達200 微米 × 200 微米

§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應時間和更高的 多軸精度

§ 高動態(tài)直接驅動版本

§ 傳感器技術：價格實惠的應變片傳感器 或可實現(xiàn)更高性能的電容式傳感器

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 可與顯微鏡平臺組合實現(xiàn)更長行程

PI應用領域

§ 掃描顯微鏡

§ 高吞吐量顯微鏡

§ 超分辨率顯微鏡

§ 掩模/晶圓定位

§ 干涉測量

§ 測量技術

§ 生物技術

§ 顯微操縱

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來最大精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現(xiàn)最佳的重復精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應控制。

PI訂購信息

P-541.2DD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，高動態(tài)直接驅動，45 微米 × 45微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CD 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CL 帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運動，電容傳感器，LEMO連接器