PI (Physik Instrumente)壓電工作臺(tái)P-541.2 ? P-542.2 XY

P-541.2 • P-542.2 XY壓電工作臺(tái)

大口徑低外形XY納米定位系統(tǒng)

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P-541.2 • P-542.2

§ 低外形、易于集成：16.5毫米

§ 孔徑為80 毫米 × 80 毫米

§ 行程達(dá)200 微米 × 200 微米

§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)時(shí)間和更高的 多軸精度

§ 高動(dòng)態(tài)直接驅(qū)動(dòng)版本

§ 傳感器技術(shù)：價(jià)格實(shí)惠的應(yīng)變片傳感器 或可實(shí)現(xiàn)更高性能的電容式傳感器

§ PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽 命

§ 可與顯微鏡平臺(tái)組合實(shí)現(xiàn)更長(zhǎng)行程

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         高吞吐量顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         干涉測(cè)量

·         測(cè)量技術(shù)

·         生物技術(shù)

·         顯微操縱

帶電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量，且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線(xiàn)性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

直接位置測(cè)量帶來(lái)最大精度

運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量，完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。

PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來(lái)超長(zhǎng)使用壽命

專(zhuān)利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來(lái)高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損，無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中，所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。所有軸具有最小的質(zhì)量慣性和相同的設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速、動(dòng)態(tài)和精密的運(yùn)動(dòng)。

訂購(gòu)信息

P-541.2DD

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，高動(dòng)態(tài)直接驅(qū)動(dòng)，45 微米 × 45微米，并聯(lián)運(yùn)動(dòng)，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CD

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運(yùn)動(dòng)，電容傳感器，Sub-D連接器

P-541.2CL

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100 微米，并聯(lián)運(yùn)動(dòng)，電容傳感器，LEMO連接器

P-542.2CD

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，并聯(lián)運(yùn)動(dòng)，電容傳感器，Sub-D連接器

P-542.2CL

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，并聯(lián)運(yùn)動(dòng)，電容傳感器，LEMO連接器

P-541.2SL

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器，LEMO連接器

P-542.2SL

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，應(yīng)變片傳感器，LEMO連接器

P-541.20L

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，100 微米 × 100微米，不帶傳感器，LEMO連接器

P-542.20L

帶大孔徑的XY向納米定位系統(tǒng)，200 微米 × 200微米，不帶傳感器，LEMO連接器

配件

P-542.PD1

用于P-54x納米定位系統(tǒng)的培養(yǎng)皿支架，35 毫米

P-542.SH1

用于P-54x納米定位系統(tǒng)的顯微鏡載片支架

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