PI (Physik Instrumente)六軸壓電平臺系統(tǒng)P-562.6CD

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P-562.6CD PIMars六軸壓電平臺系統(tǒng)

六自由度高精度納米定位系統(tǒng)

§ 6個運動軸：3個為線性，3個為旋轉(zhuǎn)

§ 行程達(dá)200微米（線性）和1毫弧度（偏 擺角）

§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應(yīng)時間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來最高線性度

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

§ 優(yōu)異的掃描平面度

§ 通孔尺寸66 毫米×66 毫米

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 超高真空兼容至10-9百帕

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         超分辨率顯微鏡

·         生物技術(shù)

·         掩模/晶圓定位

·         樣本定位

·         干涉測量

·         計量

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

并聯(lián)位置測量實現(xiàn)納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串?dāng)_均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動導(dǎo)向）。即使在動態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

訂購信息

P-562.6CD PIMars6軸納米定位系統(tǒng)，200微米，1毫弧度，平行計量

可按需提供其他行程。

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PI (Physik Instrumente)六軸壓電平臺系統(tǒng)P-562.6CD