PI (Physik Instrumente)六軸精密壓電平臺P-587

P-587 六軸精密壓電平臺

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長行程，直接位置測量

§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描

§ 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米

§ 最大旋轉(zhuǎn)角度達1微弧度

§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更快的響應時間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來最高線性度

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)

§ 六 自由度主動補償

應用領(lǐng)域

·         干涉測量

·         計量

·         納米壓印

·         半導體測試

·         半導體制造

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

直接位置測量帶來最大精度

運動直接在運動平臺上測量，完全不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實現(xiàn)最佳的重復精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應控制。

訂購信息

P-587.6CD

帶長行程的六軸納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米 × 200微米，±0.5毫弧度，平行計量，電容傳感器

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