品牌PI (Physik Instrumente) | 有效期至長(zhǎng)期有效 | 最后更新2021-09-13 14:51 |
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P-733.Z 高動(dòng)態(tài)Z向納米定位器/掃描儀
直接位置測(cè)量和通光孔徑
譚晶 QQ:2853369887 手機(jī):18518172492 電話:010-64717020-116 傳真:010-84786709-666 郵件:sales9@handelsen.cn |
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· 掃描顯微鏡
· 共聚焦顯微鏡
· 掩模/晶圓定位
· 表面測(cè)量技術(shù)
· 納米壓印
· 顯微操縱
· 圖像處理/穩(wěn)定
· 高運(yùn)動(dòng)平面度和直線度的納米定位
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,且無(wú)接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無(wú)需潤(rùn)滑劑或潤(rùn)滑脂。無(wú)聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。
專利的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動(dòng)器長(zhǎng)達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)無(wú)故障運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
柔性鉸鏈導(dǎo)向無(wú)需維護(hù)、無(wú)摩擦、無(wú)磨損,無(wú)需潤(rùn)滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們百分百真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量,完全不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性、快速響應(yīng)控制。
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P-733.ZCD
緊湊型精密納米定位器Z向位移臺(tái),100 微米,電容傳感器,Sub-D連接器
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緊湊型精密納米定位器Z向位移臺(tái),100 微米,電容傳感器,LEMO連接器
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