品牌PI (Physik Instrumente) | 有效期至長(zhǎng)期有效 | 最后更新2021-09-08 17:22 |
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NEXACTOEM小型線性電機(jī)/促動(dòng)器
譚晶 QQ:2853369887 手機(jī):18518172492 電話:010-64717020-116 傳真:010-84786709-666 郵件:sales9@handelsen.cn |
緊湊,快速,具有長(zhǎng)行程,PiezoWalk原理
N-310
§ 行程為10至125毫米,動(dòng)輪長(zhǎng)度可變
§ 緊湊型設(shè)計(jì),經(jīng)濟(jì)劃算的設(shè)計(jì)
§ 分辨率達(dá)0.03納米
§ 力量生成達(dá)10牛
應(yīng)用領(lǐng)域
§ 工業(yè)級(jí)精度定位
§ 半導(dǎo)體技術(shù)
§ 半導(dǎo)體測(cè)試
§ 晶圓檢測(cè)
§ 平版印刷術(shù)
§ 納米壓印
§ 納米測(cè)量
§ 強(qiáng)磁場(chǎng)和真空中運(yùn)動(dòng)
采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力
數(shù)個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng),將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分 辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動(dòng)。
增量編碼器用于高精度位置測(cè)量
非接觸式光學(xué)線性編碼器以極高的精度直接在平臺(tái)上測(cè)量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈
性形變不會(huì)對(duì)測(cè)量造成影 響。
適用于復(fù)雜真空應(yīng)用
PI的壓電電機(jī)原則上是真空兼容的,并且適合在強(qiáng)磁場(chǎng)中運(yùn)行。驅(qū)動(dòng)器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器 還可用于有較強(qiáng)紫外線輻射的無(wú)塵室或環(huán)境中。
訂購(gòu)信息
N-310.10
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,10毫米,10牛
N-310.101
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,10毫米,10牛,偏移電纜出口
N-310.11
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,20毫米,10牛
N-310.111
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,20毫米,10牛,偏移電纜出口
N-310.12
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,30毫米,10牛
N-310.121
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,30毫米,10牛,偏移電纜出口
N-310.13
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,50毫米,10牛
N-310.131
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,50毫米,10牛,偏移電纜出口
N-310.14
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,75毫米,10牛
N-310.141
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,75毫米,10牛,偏移電纜出口
N-310.15
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,100毫米,10牛
N-310.151
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,100毫米,10牛,偏移電纜出口
N-310.16
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,125毫米,10牛
N-310.161
NEXACT OEM線性驅(qū)動(dòng)器,125毫米,10牛,偏移電纜出口
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