PI德國 NEXACT線性促動(dòng)器，機(jī)械手，壓電步進(jìn)N-381

NEXACT線性促動(dòng)器，機(jī)械手，壓電步進(jìn)

譚晶 QQ：2853369887   手機(jī)：18518172492 電話：010-64717020-116 傳真：010-84786709-666 郵件：sales9@handelsen.cn

高分辨率，可選配位置傳感器

N-381

§ 行程30毫米

§ 力量生成達(dá)10牛

§ 帶NEXACT壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)

§ 可選配：集成線性編碼器，分辨率為20 納米

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 工業(yè)級(jí)精度定位

§ 半導(dǎo)體技術(shù)

§ 半導(dǎo)體測(cè)試

§ 晶圓檢測(cè)

§ 平版印刷術(shù)

§ 納米壓印

§ 納米測(cè)量

§ 強(qiáng)磁場(chǎng)和真空中運(yùn)動(dòng)

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力

數(shù)個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分 辨率進(jìn)行最小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動(dòng)。

增量編碼器用于高精度位置測(cè)量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺(tái)上測(cè)量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對(duì)測(cè)量造成影響。

訂購信息

N-381.30

NEXACTUATOR線性促動(dòng)器，30毫米，開環(huán)

N-381.3A

NEXACTUATOR線性促動(dòng)器，30毫米，編碼器分辨率為20納米

我們的優(yōu)勢(shì)：

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