在過去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的領(lǐng)先制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動機(jī)始終保持不變：為客戶找到最佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名，多年來一直是全球精密定位技術(shù)市場的領(lǐng)導(dǎo)者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內(nèi)部的團(tuán)隊(duì)精神，其基礎(chǔ)是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。
PI是一家擁有健康增長的私營公司，在全球擁有1000多名員工，并且是一個靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺能夠滿足創(chuàng)新型精密定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。
PI的首要任務(wù)是成為客戶的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。PI是運(yùn)動和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。
應(yīng)用領(lǐng)域
六腳架支持工業(yè)機(jī)器人科學(xué)儀器
半導(dǎo)體技術(shù)
顯微鏡檢查
硅光子學(xué)
醫(yī)療技術(shù)
材料研究
機(jī)械工業(yè)
自動化
梁線儀器
添加劑制造
主動對準(zhǔn)
部分產(chǎn)品分類及介紹
納米定位壓電撓性位移臺
PI的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導(dǎo)向精度與最小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動態(tài)掃描，在高達(dá)6的自由度下可達(dá)到幾百赫茲。
專有傳感器設(shè)計(jì)，無摩擦撓性導(dǎo)軌和長壽命PICMA®壓電執(zhí)行器的獨(dú)特結(jié)合，使機(jī)器具有出色且堅(jiān)固的機(jī)械性能。壓電運(yùn)動控制器支持定位和掃描性能優(yōu)化，并且可以輕松地通過數(shù)字或模擬接口進(jìn)行集成，并進(jìn)行舒適的編程。
1.多軸壓電撓性位移臺
PI的多軸壓電撓性位移臺可在多達(dá)6個軸上以亞納米級的精度進(jìn)行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運(yùn)動。版本范圍從最緊湊的立方體設(shè)計(jì)到大孔徑和薄型。
XYZ掃描儀是定位技術(shù)的全方位工具。應(yīng)用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學(xué)計(jì)量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。
所有壓電納米定位系統(tǒng)均已出廠校準(zhǔn)，并隨測量記錄一起提供。
P-616NanoCube®納米定位器
緊湊的并聯(lián)運(yùn)動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)
應(yīng)用領(lǐng)域：
光纖定位和對準(zhǔn)
掃描顯微鏡
2-光子聚合
納米技術(shù)與納米制造
光子學(xué)/集成光學(xué)
顯微操作
樣品定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運(yùn)行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的脫氣率。
PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長
專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
通過并聯(lián)運(yùn)動學(xué)實(shí)現(xiàn)高動態(tài)多軸運(yùn)行
在并聯(lián)運(yùn)動多軸系統(tǒng)中，所有執(zhí)行器都作用在一個公共平臺上。最小的質(zhì)量慣性和所有軸的相同設(shè)計(jì)允許快速，動態(tài)且仍然精確的運(yùn)動。
P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀
用于掃描探針顯微鏡的動態(tài)納米定位儀
應(yīng)用領(lǐng)域：
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描和篩選
零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為基準(zhǔn)進(jìn)行測量。軸之間不需要的串?dāng)_可以實(shí)時(shí)（根據(jù)帶寬）得到主動補(bǔ)償（主動引導(dǎo)）。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。
2.用于顯微鏡的PIFOC®物鏡和PInano®樣品掃描儀
PIFOC®和PInano®系列的壓電撓性位移臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務(wù)方面具有很高的動態(tài)性。標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提供了適用于XY樣品平行于和垂直于光軸定位以及物鏡Z聚焦的解決方案。
平臺也可以在系統(tǒng)中方便地與控制器，所有必需的連接電纜和軟件一起使用。像所有壓電系統(tǒng)一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀也已通過測量記錄進(jìn)行了預(yù)校準(zhǔn)。
V-308物鏡音圈PIFOC聚焦驅(qū)動器
用于顯微鏡物鏡的高動態(tài)定位器
使用PIFOC對目標(biāo)進(jìn)行Z定位
在許多檢查或顯微鏡技術(shù)中，都需要將樣品沿Z方向（即沿物鏡的光軸）定位?？商娲?，可以在Z方向上移動物鏡本身。為此，PI提供了名為PIFOC的解決方案。
PIMag®音圈電機(jī)
音圈馬達(dá)是直接驅(qū)動器。在直接驅(qū)動中，驅(qū)動元件的力直接傳遞到要移動的負(fù)載上，而無需使用機(jī)械傳??遞元件，例如聯(lián)軸器，驅(qū)動螺桿或齒輪箱。音圈驅(qū)動器由位于磁場氣隙中的永磁體和繞組體組成。當(dāng)電流流經(jīng)繞組時(shí)，它會在永磁體的磁場中移動。音圈驅(qū)動器由于其重量輕且無摩擦的驅(qū)動原理，特別適合要求在有限行程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高動力和高速度的應(yīng)用。這些驅(qū)動器還可以實(shí)現(xiàn)高掃描頻率和精確定位，因?yàn)樗鼈儾皇艽艤挠绊憽?/div>
直接位置測量
直接在運(yùn)動平臺上以最高的精度執(zhí)行位置測量，因此非線性，機(jī)械游隙或彈性變形對位置測量沒有影響。
集成重力補(bǔ)償
該產(chǎn)品配備了磁力稱重補(bǔ)償。即使沒有通電，也可以保持垂直于運(yùn)動軸的最大1 kg負(fù)載的位置。重力補(bǔ)償可由用戶調(diào)整。
交叉滾子導(dǎo)軌
對于交叉的滾柱導(dǎo)軌，滾珠導(dǎo)軌中滾珠的點(diǎn)接觸被硬化滾柱的線接觸所代替。因此，它們更堅(jiān)固，需要的預(yù)緊力更小，從而減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了順暢的運(yùn)行。交叉滾子導(dǎo)向裝置還具有較高的導(dǎo)向精度和承載能力。力引導(dǎo)的滾動體保持架可防止保持架蠕變。
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微鏡：多光子熒光顯微鏡，深層組織檢查，數(shù)字玻片掃描顯微鏡。生物技術(shù)：采用Solexa-Illumina方法進(jìn)行基因組測序，免疫分析熒光。
醫(yī)療設(shè)備：掃描激光眼科，自動細(xì)胞計(jì)數(shù)器/流式細(xì)胞儀。生物醫(yī)學(xué)研究：光學(xué)和磁性鑷子。激光材料加工：激光微加工，激光燒蝕。半導(dǎo)體行業(yè)：半導(dǎo)體/晶圓檢查。
PD72Z2x•PD72Z4x PIFOC物鏡掃描系統(tǒng)400 µm
高動態(tài)壓電驅(qū)動器，可實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微鏡檢查
共聚焦顯微鏡
3D成像
篩選
自動對焦系統(tǒng)
表面分析
晶圓檢查
多光子顯微鏡
直接位置測量帶來最高的精度
直接在運(yùn)動平臺上測量運(yùn)動，而不受驅(qū)動或?qū)蛟娜魏斡绊?。這樣可以實(shí)現(xiàn)最佳的可重復(fù)性，出色的穩(wěn)定性以及快速響應(yīng)的剛性控制。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運(yùn)動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
豐富的軟件可快速啟動生產(chǎn)運(yùn)營
得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見操作系統(tǒng)（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個環(huán)境中快速有效地實(shí)現(xiàn)。復(fù)雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運(yùn)營的時(shí)間。
ND72Z2LAQ PIFOC物鏡掃描系統(tǒng)2000 µm
納米分辨率和快速步進(jìn)和穩(wěn)定
應(yīng)用領(lǐng)域
雙光子顯微鏡
共聚焦顯微鏡
3D成像
激光技術(shù)
干涉儀
生物技術(shù)
顯微操作
自動對焦，適合長途旅行
使用增量線性編碼器進(jìn)行高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機(jī)械間隙或彈性變形對測量沒有影響。
PiezoWalk®行走驅(qū)動器可實(shí)現(xiàn)納米級精度和高進(jìn)給力
多個壓電執(zhí)行器在PiezoWalk®行走驅(qū)動器中執(zhí)行行走運(yùn)動，從而導(dǎo)致跑步者向前進(jìn)給。致動器的控制允許最小的步進(jìn)和正向進(jìn)給運(yùn)動，其分辨率遠(yuǎn)低于1納米。
豐富的軟件可快速啟動生產(chǎn)運(yùn)營
得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見操作系統(tǒng)（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個環(huán)境中快速有效地實(shí)現(xiàn)。復(fù)雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產(chǎn)運(yùn)營的時(shí)間。
德國 Physik Instrumente U-523PILine®線性平臺
品牌簡介
在過去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的領(lǐng)先制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動機(jī)始終保持不變：為客戶找到最佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺以其產(chǎn)品質(zhì)量而聞名，多年來一直是全球精密定位技術(shù)市場的領(lǐng)導(dǎo)者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內(nèi)部的團(tuán)隊(duì)精神，其基礎(chǔ)是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。
PI是一家擁有健康增長的私營公司，在全球擁有1000多名員工，并且是一個靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺能夠滿足創(chuàng)新型精密定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。
PI的首要任務(wù)是成為客戶的可靠且高質(zhì)量的合作伙伴。PI是運(yùn)動和定位領(lǐng)域解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。
應(yīng)用領(lǐng)域
六腳架支持工業(yè)機(jī)器人科學(xué)儀器
半導(dǎo)體技術(shù)
顯微鏡檢查
硅光子學(xué)
醫(yī)療技術(shù)
材料研究
機(jī)械工業(yè)
自動化
梁線儀器
添加劑制造
主動對準(zhǔn)
線性平臺
PI提供了廣泛的電動線性平臺產(chǎn)品組合。種類繁多的應(yīng)用還意味著線性軸的技術(shù)可能性也非常廣泛。行程范圍從幾毫米到幾米，精度等級從納米到微米：PI使驅(qū)動器，導(dǎo)向器或傳感器技術(shù)適應(yīng)應(yīng)用條件。
有許多不同型號的真空版本。多軸組合可借助轉(zhuǎn)接器支架實(shí)現(xiàn)，或者通過匹配的Z平臺和旋轉(zhuǎn)平臺更加緊湊。
運(yùn)動控制器可作為臺式設(shè)備，機(jī)架版本或緊湊型OEM設(shè)備使用。所有這些因素的共同因素是通過通用命令集（GCS）進(jìn)行命令，該命令簡化了控制和編程，并且與驅(qū)動器類型無關(guān)。
可提供具有ACS運(yùn)動控制器的多軸工業(yè)應(yīng)用中的多軸系統(tǒng)。這樣可確保通過Fieldbus接口輕松集成，以實(shí)現(xiàn)精密和以運(yùn)動為中心的工業(yè)應(yīng)用。
1.U-523PILine®線性平臺
帶有超聲波壓電馬達(dá)的緊湊型線性平臺
精密級線性定位平臺
PILine®位移臺特別適合需要快速精確定位的應(yīng)用。關(guān)閉時(shí)，自鎖驅(qū)動器會以機(jī)械方式穩(wěn)定工作臺的位置。因此，能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著減少。這些特性使電池供電或?qū)崦舾械牡驼伎毡葢?yīng)用受益。軸的位置由編碼器測量，光學(xué)參考開關(guān)可實(shí)現(xiàn)可靠的可重復(fù)運(yùn)動。壓電驅(qū)動原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。
使用增量線性編碼器進(jìn)行高精度位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機(jī)械間隙或彈性變形對測量沒有影響。
PILine®超聲波壓電馬達(dá)
PILine®超聲波壓電電機(jī)的組成部分是壓電致動器，該壓電致動器通過一個耦合元件預(yù)加載在可移動的導(dǎo)向流道上。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩。致動器的變形導(dǎo)致聯(lián)接元件相對于轉(zhuǎn)輪周期性的對角運(yùn)動。每個周期產(chǎn)生的進(jìn)料為幾納米。高頻導(dǎo)致高速。將壓電陶瓷執(zhí)行器預(yù)緊抵在轉(zhuǎn)輪上，可確保驅(qū)動器在靜止和關(guān)閉時(shí)自動鎖定。
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微操作，自動化，生物技術(shù)，樣品處理，樣品定位，空間有限的應(yīng)用，10 -6 hPa的真空應(yīng)用（可選）。
2.精度最高的N-565線性平臺
具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動器
NEXACT®參考級線性平臺
帶有NEXACT®PiezoWalk®驅(qū)動器的線性平臺可在長行程范圍內(nèi)在納米范圍內(nèi)進(jìn)行高精度定位。它們配備有直接測量的線性編碼器和交叉滾子軸承，可實(shí)現(xiàn)最高的精度。
使用PIOne線性編碼器進(jìn)行直接位置測量
PI開發(fā)了高分辨率的PIOne編碼器，并通過對測量值進(jìn)行相應(yīng)的處理，使位置分辨率大大小于1納米。另外，由于信號周期短和信號質(zhì)量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1％。PIOne編碼器在評估參考信號時(shí)支持方向感測。
PiezoWalk®技術(shù)：高分辨率和低磨損
PiezoWalk®技術(shù)結(jié)合了壓電執(zhí)行器和壓電馬達(dá)的技術(shù)優(yōu)勢。PiezoWalk®行走驅(qū)動器不僅提供亞納米級分辨率，高作用力和高剛度，而且理論上允許無限的行駛范圍。與其他壓電驅(qū)動原理相反，PiezoWalk®行走驅(qū)動器不受滑動摩擦的影響。它們基于沿著滑道步進(jìn)的多個壓電執(zhí)行器的靜摩擦接觸。靜止時(shí)，PiezoWalk®行走驅(qū)動器是自鎖的，不消耗能量，并且不發(fā)熱。
應(yīng)用領(lǐng)域
樣品處理，樣品定位，具有高精度和穩(wěn)定性的光學(xué)或機(jī)械組件，半導(dǎo)體行業(yè)的精密機(jī)械，顯微操作，顯微鏡，自動化，在狹窄空間中的應(yīng)用，在非磁性環(huán)境中的應(yīng)用。
3.L-812高負(fù)載線性平臺
步進(jìn)或伺服電機(jī)•驅(qū)動螺桿•性價(jià)比高
強(qiáng)大的線性平臺，用于要求苛刻的工業(yè)應(yīng)用
精密滾珠絲杠，高性能步進(jìn)或同步伺服電機(jī)，重型循環(huán)滾珠軸承以及精密旋轉(zhuǎn)編碼器可在高負(fù)載下連續(xù)可靠地運(yùn)行?？蛇x的抱閘允許用作Z軸。滾珠絲杠可以在不拆卸的情況下從外部進(jìn)行補(bǔ)充潤滑，以確保高可靠性和長壽命。
開拓設(shè)計(jì)
L-812系列的循環(huán)球軸承導(dǎo)軌設(shè)計(jì)用于高負(fù)載能力和動態(tài)性能。電機(jī)的高分辨率可改善跟蹤性能，減小跟蹤誤差并縮短建立時(shí)間。
選項(xiàng)
步進(jìn)或同步伺服電機(jī)
抱閘
旋轉(zhuǎn)編碼器，增量式或絕對式
折疊式傳動系統(tǒng)可減少總長度
同步伺服電機(jī)
這些電動機(jī)在較大的轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)具有較高的定位精度和較高的過載能力。高扭矩和低慣量確保了驅(qū)動器的高動態(tài)。這些電機(jī)的使用壽命長，性能高且堅(jiān)固耐用，可在工業(yè)自動化應(yīng)用中獲得出色的效果。
步進(jìn)電機(jī)
強(qiáng)大且低振動的2相步進(jìn)電機(jī)即使在沒有位置控制的情況下也可以實(shí)現(xiàn)精確定位。
應(yīng)用領(lǐng)域
電子產(chǎn)品生產(chǎn)：微裝配。傳感器/攝像頭的位置。
激光材料加工：激光微加工。
工業(yè)噴墨印刷。矩陣板和印刷電路板的生產(chǎn)。
測試與檢查。
醫(yī)療設(shè)備制造：氣密焊接?；?qū)嶒?yàn)室的機(jī)器人系統(tǒng)。
空氣軸承和位移臺
空氣軸承臺用于需要無振動運(yùn)動，速度需要高度恒定且要求最佳角度重復(fù)性的場合。
空氣軸承避免了摩擦，磨損和反沖效應(yīng)。PIglide線性，旋轉(zhuǎn)和球面軸承是精密組件，可以集成和電動化用于OEM，工業(yè)和研究市場。
1.A-142 PIglide音圈線性平臺，帶空氣軸承
高性能•兼容無塵室•垂直安裝選件
產(chǎn)品總覽
高性能緊湊型音圈線性平臺，帶有空氣軸承導(dǎo)軌。免維護(hù)，無限壽命，非常適合具有高占空比和嚴(yán)格體積限制的高動態(tài)應(yīng)用。
集成的平衡選項(xiàng)可實(shí)現(xiàn)垂直方向的操作。
配件和選件
PIglide過濾器和空氣制備套件
垂直安裝的氣動平衡
應(yīng)用領(lǐng)域
線性位移臺非常適合高精度應(yīng)用，例如計(jì)量學(xué)，光子學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)，光學(xué)器件定位和掃描。非接觸式設(shè)計(jì)是潔凈室應(yīng)用的理想選擇。電纜未移動。
2.A-110 PIglide LC線性平臺，帶空氣軸承
廉價(jià)的高性能納米定位臺
產(chǎn)品總覽
PIglide定位系統(tǒng)具有磁性直線電機(jī)，磁性預(yù)加載的空氣軸承和光學(xué)線性編碼器：非接觸和無摩擦運(yùn)動，可提供最高的準(zhǔn)確性和可靠性
應(yīng)用領(lǐng)域
PIglide定位系統(tǒng)非常適合許多高精度應(yīng)用，例如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計(jì)量，光子學(xué)和精密掃描。
由于無摩擦運(yùn)動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。
配件和選件
編碼器
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸和多軸運(yùn)動控制器
XY設(shè)置和個別配置
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
3.A-141 PIglide MB微型線性平臺，帶空氣軸承
高性能，無塵室兼容，可定制
產(chǎn)品總覽
帶有空氣軸承的PIglide MB線性位移臺配有伺服線性電機(jī)驅(qū)動器，該驅(qū)動器帶有預(yù)裝的空氣軸承和集成的光學(xué)線性編碼器。此階段可提供微型格式的超高精度。非接觸組件的組合形成了一個無摩擦運(yùn)動平臺，該平臺可提供最高的性能，質(zhì)量和使用壽命。
應(yīng)用領(lǐng)域
該載物臺非常適合許多高精度應(yīng)用，例如計(jì)量，光子對準(zhǔn)，光學(xué)定位和掃描。非接觸式設(shè)計(jì)也是潔凈室應(yīng)用的理想選擇。電纜未移動?？諝廨S承模塊提供鎖定設(shè)計(jì)，以實(shí)現(xiàn)最高的位置穩(wěn)定性。
配件和選件
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸和多軸運(yùn)動控制器
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
旋轉(zhuǎn)臺
對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的要求顯示出范圍很廣的各種尺寸，負(fù)載能力和定位精度。PI提供具有各種電動和導(dǎo)向選項(xiàng)的平臺：空氣軸承，扭矩馬達(dá)驅(qū)動，蝸輪蝸桿耦合電動，小型壓電馬達(dá)平臺以及帶有正交傾斜安裝選項(xiàng)的專用測角儀平臺。它們都可以通過相應(yīng)的線性，垂直和XY平臺安裝到多軸組合上。
1.A-68x PIglide RLA旋轉(zhuǎn)平臺，帶空氣軸承，大孔徑
無摩擦，電動
產(chǎn)品總覽
PIglide RLA系列的直接驅(qū)動平面旋轉(zhuǎn)平臺設(shè)計(jì)為具有最高的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺具有出色的行程精度，平坦度和擺動性能。
絕對值編碼器（可選）
絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。
應(yīng)用領(lǐng)域
斷層掃描，束線系統(tǒng)，晶圓計(jì)量，晶圓檢查，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。
由于無摩擦運(yùn)動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。
三相轉(zhuǎn)矩電機(jī)
無刷
低齒槽轉(zhuǎn)矩
配件和選件
增量或絕對編碼器
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運(yùn)動控制器和伺服驅(qū)動器
多軸/自定義設(shè)置
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
2.A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉(zhuǎn)平臺
無摩擦，電動
產(chǎn)品總覽
PIglide RL系列的直接驅(qū)動式薄型旋轉(zhuǎn)位移臺采用薄型設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)最高的精度?？梢越M合使用各種選項(xiàng)，以創(chuàng)建理想的解決方案，以實(shí)現(xiàn)點(diǎn)對點(diǎn)索引或恒速掃描。RL位移臺提供卓越的行程精度，平坦度和擺動性能。
絕對值編碼器（可選）
絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。
應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)對準(zhǔn)，晶圓檢查，晶圓對準(zhǔn)，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。
由于無摩擦運(yùn)動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。
三相轉(zhuǎn)矩電機(jī)
無刷
無槽
低齒槽轉(zhuǎn)矩
配件和選件
增量或絕對編碼器
真空饋通
在靜止?fàn)顟B(tài)下通過電磁預(yù)載自鎖
根據(jù)要求清除光圈
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運(yùn)動控制器和伺服驅(qū)動器
多軸/自定義設(shè)置
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)
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