PI 帶空氣軸承的PIglide RL薄型旋轉(zhuǎn)平臺

無摩擦，電動

A-63x

?200毫米或300毫米運動平臺直徑

?薄型，60毫米

?偏心和平整度<100 nm

?靜止時可以通過磁性預載自鎖

產(chǎn)品總覽

PIglide RL系列的直接驅(qū)動式薄型旋轉(zhuǎn)平臺采用薄型設計，可實現(xiàn)最高的精度。

可以組合各種選項來創(chuàng)建理想的解決方案，以實現(xiàn)點對點索引或恒速掃描。

RL位移臺提供卓越的行程精度，平坦度和擺動性能。

三相扭矩電動機

?無刷

?無插槽

?低齒槽轉(zhuǎn)矩

絕對編碼器（可選）

絕對值編碼器提供明確的位置信息，可立即確定位置。 這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作期間的效率和安全性。

配件和選件

?增量或絕對編碼器

?真空穿通

?在靜止狀態(tài)下通過電磁預載自鎖

?PIglide過濾器和空氣制備套件

?單軸或多軸運動控制器和伺服驅(qū)動器

?多軸/定制設計

?由花崗巖制成的底板和減少振動的系統(tǒng)

應用領(lǐng)域

光學對準，晶片檢查，晶片對準，測量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準，掃描。

由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide工作臺非常適合無塵室應用。

訂購信息：

A-635.A100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺，空氣軸承，200 mm運動平臺直徑，低高度，帶正弦/余弦信號傳輸?shù)慕嵌葴y量系統(tǒng)，31488線/轉(zhuǎn)，無槽，無刷三相扭矩電動機

A-635.B100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺，空氣軸承，200 mm運動平臺直徑，低高度，帶BiSS-C信號傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng)，傳感器分辨率為0.0015μrad，無槽，無刷三相扭矩電動機

A-637.A100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺，空氣軸承，運動平臺直徑300 mm，低高度，帶正弦/余弦信號傳輸?shù)慕嵌葴y量系統(tǒng)，47200線/轉(zhuǎn)，無槽，無刷三相扭矩電動機

A-637.B100

PIglide RL旋轉(zhuǎn)平臺，空氣軸承，運動平臺直徑300 mm，低高度，帶BiSS-C信號傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng)，傳感器分辨率為0.0015μrad，無槽，無刷三相扭矩電動機

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