PI A-322 帶空氣軸承的PIglideHS平面掃描儀

分辨率為1納米的XY定位系統(tǒng)

掃描應(yīng)用的完美選擇或精密定位

行程達(dá)500毫米 × 1000毫米

分辨率達(dá)1納米

無塵室兼容

負(fù)載容量達(dá)245牛

速度高達(dá)2毫米/秒

PIglide參考級(jí)XY定位系統(tǒng)

PIglide HS平面掃描儀帶磁性線性電機(jī)、真空預(yù)載和絕對(duì)編碼器：非接觸式無摩擦運(yùn)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)最高精度和可靠性。

絕對(duì)編碼器

絕對(duì)編碼器提供明確的位置信息，幫助即刻確定位置。這意味著在接通期間無需定位，提高了操作過程中的效率和安全性。

PIMag®磁力直接驅(qū)動(dòng)

三相磁性直接驅(qū)動(dòng)器在動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)中未使用機(jī)械零件，其可直接將驅(qū)動(dòng)力傳輸至運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，且無摩擦。驅(qū)動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)高速度和高加速度。 無鐵芯電機(jī)非常適合對(duì)精度有超高要求的定位任務(wù)，因?yàn)槠洳粫?huì)與永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在最低的速度下也能保持平穩(wěn)的運(yùn)行，同時(shí)，在高速狀態(tài)下也不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)。避免了控制的非線性行為并且每個(gè)位置都很容易控制。驅(qū)動(dòng)力可任意設(shè)定。

定位系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于將產(chǎn)出最大化的同時(shí)確保最高精度。橋軸至龍門軸的撓性聯(lián)軸器可實(shí)現(xiàn)側(cè)向解耦，不會(huì)犧牲系統(tǒng)的剛性。

利用來自領(lǐng)先制造商的數(shù)字控制器，操作可提供高級(jí)控制算法，以改善動(dòng)態(tài)性和誤差補(bǔ)償。

附件和可選配件

PIglide過濾器和空氣預(yù)處理器

額外的軸

機(jī)器底座

花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應(yīng)用，諸如計(jì)量、光子學(xué)和精密掃描以及半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的應(yīng)用。

由于運(yùn)動(dòng)無摩擦，不會(huì)形成顆粒，PIglide平臺(tái)非常適用于無塵室應(yīng)用。

訂購(gòu)信息：

A-322.AB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，350 mm×350 mm行程，絕對(duì)編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線電機(jī)，48 V

A-322.BB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，350 mm×500 mm行程，絕對(duì)編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線電機(jī)，48 V

A-322.CB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，500 mm×500 mm行程，絕對(duì)編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線電機(jī)，48 V

A-322.DB1  PIglide HS平面掃描儀，空氣軸承，500 mm×1000 mm行程，絕對(duì)編碼器，1 nm傳感器分辨率，3相直線電機(jī)，48 V

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