PI(Physik Instrumente)位移平臺功能介紹

1.PI XY位移平臺

高精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器，以實(shí)現(xiàn)大的可靠性。通過使用高質(zhì)量的納米計(jì)量傳感器，可以實(shí)現(xiàn)具有佳穩(wěn)定性的可重復(fù)，無漂移的定位

用于小負(fù)載的2軸壓電掃描儀經(jīng)常用于掃描和跟蹤過程。它們的快速步進(jìn)運(yùn)動提高了光學(xué)系統(tǒng)的分辨率。這些包括相機(jī)技術(shù)中的成像過程和圖像識別，例如用于生物識別或文檔存檔。PI位移平臺漢達(dá)森吳亞男

型號介紹：

緊湊型XY壓電位移臺

P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)

P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺：行程范圍可變的高精度XY納米定位器

XY壓電撓性位移臺

P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)：緊湊，帶光圈

P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺：大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)
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P-733.2 XY壓電納米定位器：高精度XY光圈掃描儀

P-734 XY壓電掃描儀：具有小跳動和清晰光圈的高動力系統(tǒng)

P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng)：光圈清晰低剖面，經(jīng)濟(jì)高效的壓電掃描儀，用于生物識別：CCD芯片可在兩個軸上動態(tài)移動，以提高像素分辨率

P-713 XY壓電掃描儀：具有成本效益的低矮OEM系統(tǒng)

P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡

2.PI XYZ壓電彎曲掃描儀

PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)PI位移平臺漢達(dá)森吳亞男

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高PI位移平臺漢達(dá)森吳亞男

撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且沖擊和振動不敏感。它們是100%真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個固定參考為參考?？梢詫?shí)時地(取決于帶寬)主動補(bǔ)償與另一軸發(fā)生的不必要的運(yùn)動串?dāng)_(主動引導(dǎo))。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。

型號介紹：

P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀

P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運(yùn)動壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)
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P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)：緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對準(zhǔn)

P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺：高精度納米定位器，多可容納3個軸

P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測量功能

用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀

P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價納米定位系統(tǒng)

P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng)：電容位置測量，用于超高分辨率顯微鏡

P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY(Z)平臺用于高動態(tài)顯微鏡

緊湊型精密XYZ納米掃描儀

P-363 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：高動態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡

P-313 PicoCube XY(Z)壓電掃描儀：皮克計(jì)精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡
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3.PI 線性壓電撓性位移臺

PI的納米定位平臺和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量，微觀過程，干涉測量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。

帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺可用于大1.5 mm的行程。

型號介紹：

壓電撓性線性平臺

P-630高動態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)：1軸大孔徑

P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺：動態(tài)穩(wěn)定

P-752高精度納米定位臺：高動態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀，具有極其精確的引導(dǎo)

P-750壓電納米定位系統(tǒng)：具有直接計(jì)量功能的高負(fù)載壓電驅(qū)動納米定位系統(tǒng)

P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)：廉價，緊湊的線性定位系統(tǒng)
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P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統(tǒng)

P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置

壓電撓性垂直平臺

P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置

S-303壓電移相器：高動態(tài)，納米級精密壓電移相器

P-733.Z高動態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測量和通光孔徑

P-612.Z壓電Z舞臺：帶孔的緊湊型納米定位器

P-611.Z壓電Z舞臺：緊湊型納米定位器
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特色定制

PI P-725KHDS

P-725KHDSPIFOC®高動態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率

4.PI 微型六足動物

Q-Motion®壓電位移臺內(nèi)置了小的6自由度運(yùn)動設(shè)備，也提供手掌大小的BLDC電機(jī)六足位移臺。

使用的運(yùn)動設(shè)計(jì)取決于應(yīng)用中單個軸上運(yùn)動的重要性。經(jīng)典的平行運(yùn)動六腳架設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)佳的整體性能均勻性。當(dāng)需要相對較大的線性運(yùn)動時，好采用薄型設(shè)計(jì)。

好使用采用PI的利PICMA®或PiezoWalk®驅(qū)動技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。

H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：快速，緊湊，高精度

H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對準(zhǔn)的理想選擇

H-811.S2 6軸運(yùn)動六腳架：快速而緊湊的高動態(tài)應(yīng)用

H-810 6軸微型六腳架：最小空間內(nèi)的高精度

P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強(qiáng)磁場中也能進(jìn)行高精度定位

5.PI 微型線性平臺

微型階段對于在可用空間有限的定位任務(wù)中至關(guān)重要。諸如Q-motion®，PIline®和PiezoWalk®之類的壓電電機(jī)解決方案由于具有直接驅(qū)動原理，因此可實(shí)現(xiàn)緊湊的平臺。

型號介紹：

帶有Q-Motion®，PILine®和PiezoWalk®驅(qū)動器的微型平臺
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U-523PILine®線性平臺：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺

Q-521 Q?Motion®微型線性平臺：具有位置控制，高分辨率和價格合理的最小線性平臺

PI N-565 1200精度高的N-565線性平臺：具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動器

U-521PILine®線性平臺：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺

Q-545 Q?Motion®精密線性平臺：壓電馬達(dá)帶來的高力和小設(shè)計(jì)，帶有PIMag®VC VoiceCoil和三相直線電機(jī)，步進(jìn)，直流和無刷直流電機(jī)的微型平臺

M-110•M-111•M-112緊湊型線性平臺：XY(Z)組合，具有各種驅(qū)動器和行程范圍

L-306緊湊型精密Z工作臺：緊湊設(shè)計(jì)，多軸組合

L-505緊湊型線性平臺：帶直流或步進(jìn)電機(jī)

V-408PIMag®線性平臺：便宜，帶直線電機(jī)

V-508PIMag®精密線性平臺：多種選項(xiàng)可適應(yīng)需求

L-402微型線性平臺：帶直流或步進(jìn)電機(jī)
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A-141 PIglide MB微型線性平臺，帶空氣軸承：高性能，無塵室兼容，可定制

V-522•V-524•V-528高性能PIMag®線性平臺：帶直接位置測量的音圈直接驅(qū)動

M-122.2DD1微翻譯平臺：具有直接位置測量功能的緊湊型線性平臺

M-105微翻譯平臺：精密交叉滾子導(dǎo)軌，PiezoMike選件，XY(Z)組合

MTS-65微型線性平臺：工業(yè)用途的堅(jiān)固設(shè)計(jì)

L-406緊湊型線性平臺：對于10公斤的負(fù)載

6.PI 微型旋轉(zhuǎn)臺

帶有壓電馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)平臺使尺寸特別緊湊。
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顯微鏡的許多應(yīng)用要求自由光通過。這些緊湊的旋轉(zhuǎn)平臺還可以用于光學(xué)應(yīng)用中，在這些應(yīng)用中，它們可以可靠地定位濾光片，并具有出色的可重復(fù)性。

旋轉(zhuǎn)平臺可以安裝在沒有適配器的線性平臺上，并且可以靈活組合多軸定位系統(tǒng)。

帶有Q-Motion和PILine®驅(qū)動器的微型旋轉(zhuǎn)臺

U-622PILine®旋轉(zhuǎn)平臺：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺 ，具有薄型設(shè)計(jì)的U-651旋轉(zhuǎn)平臺，快速PILine®直接驅(qū)動和中央開口

U-624PILine®旋轉(zhuǎn)平臺：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺

Q-632 Q?Motion®旋轉(zhuǎn)臺：緊湊型壓電電機(jī)：轉(zhuǎn)臺直徑30 mm，帶有步進(jìn)，直流和無刷直流(BLDC)電機(jī)的微型旋轉(zhuǎn)臺

V-611PIMag®旋轉(zhuǎn)平臺：高扭矩的扁平設(shè)計(jì)，最大承重2 kg
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RS-40緊湊型旋轉(zhuǎn)臺：精確定位

V-610緊湊型PIMag®旋轉(zhuǎn)臺：緊湊，適用于M-110的多軸組合

DT-80緊湊型旋轉(zhuǎn)臺：大光圈

DT-34微型旋轉(zhuǎn)臺：尺寸緊湊，帶直流或步進(jìn)電機(jī)

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PI(Physik Instrumente)位移平臺功能介紹

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