PI精密線性平臺(tái)Q-545 Q?Motion
壓電電機(jī)可實(shí)現(xiàn)高力和小巧設(shè)計(jì)
產(chǎn)品描述
寬度僅為45毫米
推/拉力為7牛
帶位置分辨率的增量傳感器
不帶接裝板的XY組合可供選擇
真空兼容至10-6百帕
寬度僅為45毫米
推/拉力為7牛
帶位置分辨率的增量傳感器
不帶接裝板的XY組合可供選擇
真空兼容至10-6百帕
壓電慣性驅(qū)動(dòng)器
壓電陶瓷慣性驅(qū)動(dòng)器為空間節(jié)約型且價(jià)格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)器，其保持力相對(duì)較大，行程幾乎是無(wú)限的。慣性驅(qū)動(dòng)原理是基于由特殊驅(qū)動(dòng)器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個(gè)壓電促動(dòng)器。促動(dòng)器緩慢膨脹，移動(dòng)轉(zhuǎn)子。由于其慣性，轉(zhuǎn)子無(wú)法跟上促動(dòng)器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時(shí)，驅(qū)動(dòng)直接作用在動(dòng)輪上，實(shí)現(xiàn)最大為6毫米/秒的速度。
真空和無(wú)磁性環(huán)境
所有Q?Motion®線性平臺(tái)都適用于高真空中的操作，真空可達(dá)10-6 百帕。可按需提供無(wú)磁性版本。
直接測(cè)量原理
線性平臺(tái)配備非接觸式測(cè)量光學(xué)線性編碼器和參考點(diǎn)開(kāi)關(guān)。分辨率為1納米。
應(yīng)用領(lǐng)域
微裝配, 光子, 光學(xué)對(duì)準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測(cè)試
PI （Physik Instrumente） P-753.1CD LISA
PI （Physik Instrumente） E-625.CR
PI （Physik Instrumente） M-060.PD
PI （Physik Instrumente） C-844.4DC
PI （Physik Instrumente） E-503.00S
PI （Physik Instrumente） E-625.SR
PI （Physik Instrumente） P-611.1S
PI （Physik Instrumente） E-727.3SDF
PI （Physik Instrumente） PD72Z2CAQ
PI （Physik Instrumente） P-721.12Q
PI （Physik Instrumente） M-531.PD1
PI （Physik Instrumente） C-843.21
PI （Physik Instrumente） M-531.PD1
PI （Physik Instrumente） M-061.PD
PI （Physik Instrumente） C-843.21
PI （Physik Instrumente） M-531.PD1
PI （Physik Instrumente） E-709.CRG
德國(guó)PI系列介紹：
1.PI XY位移平臺(tái)
高精度的2軸納米定位系統(tǒng)集成了PICMA®壓電執(zhí)行器，以實(shí)現(xiàn)大的可靠性。通過(guò)使用高質(zhì)量的納米計(jì)量傳感器，可以實(shí)現(xiàn)具有佳穩(wěn)定性的可重復(fù)，無(wú)漂移的定位
用于小負(fù)載的2軸壓電掃描儀經(jīng)常用于掃描和跟蹤過(guò)程。它們的快速步進(jìn)運(yùn)動(dòng)提高了光學(xué)系統(tǒng)的分辨率。這些包括相機(jī)技術(shù)中的成像過(guò)程和圖像識(shí)別，例如用于生物識(shí)別或文檔存檔。
型號(hào)介紹：
緊湊型XY壓電位移臺(tái)
P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器：用于納米定位的緊湊型兩軸壓電系統(tǒng)
P-620.2 – P-629.2 PIHera XY壓電平臺(tái)：行程范圍可變的高精度XY納米定位器
XY壓電撓性位移臺(tái)
P-612.2 XY壓電納米定位系統(tǒng)：緊湊，帶光圈
P-541.2•P-542.2 XY壓電平臺(tái)：大口徑薄型XY納米定位系統(tǒng)
P-733.2 XY壓電納米定位器：高精度XY光圈掃描儀
P-734 XY壓電掃描儀：具有小跳動(dòng)和清晰光圈的高動(dòng)力系統(tǒng)
P-763緊湊型XY納米定位系統(tǒng)：光圈清晰低剖面，經(jīng)濟(jì)高效的壓電掃描儀，用于生物識(shí)別：CCD芯片可在兩個(gè)軸上動(dòng)態(tài)移動(dòng)，以提高像素分辨率
P-713 XY壓電掃描儀：具有成本效益的低矮OEM系統(tǒng)
P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統(tǒng)
P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統(tǒng)：電容位置測(cè)量，用于超高分辨率顯微鏡
P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY（Z）平臺(tái)用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡
2.PI XYZ壓電彎曲掃描儀
PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無(wú)維護(hù)，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測(cè)量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考?？梢詫?shí)時(shí)地（取決于帶寬）主動(dòng)補(bǔ)償與另一軸發(fā)生的不必要的運(yùn)動(dòng)串?dāng)_（主動(dòng)引導(dǎo)）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。
型號(hào)介紹：
P-733.3 XYZ壓電納米定位器：高精度XYZ光圈掃描儀
P-616NanoCube®納米定位器：緊湊的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對(duì)準(zhǔn)
P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)：緊湊的多軸壓電系統(tǒng)，用于納米定位和光纖對(duì)準(zhǔn)
P-561•P-562•P-563 PIMars納米定位臺(tái)：高精度納米定位器，多可容納3個(gè)軸
P-517•P-527多軸壓電掃描儀：高動(dòng)態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測(cè)量功能
用于顯微鏡的壓電撓曲XYZ掃描儀
P-545.xR8SPInano®XY（Z）壓電系統(tǒng)：用于高分辨率顯微鏡的廉價(jià)納米定位系統(tǒng)
P-545.xC8SPInano®Cap XY（Z）壓電系統(tǒng)：電容位置測(cè)量，用于超高分辨率顯微鏡
P-545.3D8SPInano®Trak壓電跟蹤系統(tǒng)：快速XY（Z）平臺(tái)用于高動(dòng)態(tài)顯微鏡
緊湊型精密XYZ納米掃描儀
P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：高動(dòng)態(tài)納米定位系統(tǒng)，用于掃描探針顯微鏡
P-313 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀：皮克計(jì)精度高帶寬，用于掃描探針顯微鏡
3.PI 線性壓電撓性位移臺(tái)
PI的納米定位平臺(tái)和掃描儀將納米精度的分辨率和引導(dǎo)精度與小的串?dāng)_相結(jié)合。這使得它們特別適合于計(jì)量，微觀過(guò)程，干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的參考應(yīng)用。
帶有PICMA®壓電執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)器和撓性導(dǎo)軌的線性壓電平臺(tái)可用于大1.5 mm的行程。
型號(hào)介紹：
壓電撓性線性平臺(tái)
P-630高動(dòng)態(tài)壓電納米定位系統(tǒng)：1軸大孔徑
P-753 LISA線性執(zhí)行器和平臺(tái)：動(dòng)態(tài)穩(wěn)定
P-752高精度納米定位臺(tái)：高動(dòng)態(tài)和穩(wěn)定的壓電掃描儀，具有極其精確的引導(dǎo)
P-750壓電納米定位系統(tǒng)：具有直接計(jì)量功能的高負(fù)載壓電驅(qū)動(dòng)納米定位系統(tǒng)
P-611.1線性壓電定位系統(tǒng)：廉價(jià)，緊湊的線性定位系統(tǒng)
P-712線性壓電掃描儀：緊湊型OEM系統(tǒng)
P-620.1 – P-629.1 PIHera壓電線性精密定位器：可變行程范圍和軸配置
壓電撓性垂直平臺(tái)
P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直精密Z定位器：可變行程范圍和軸配置
S-303壓電移相器：高動(dòng)態(tài)，納米級(jí)精密壓電移相器
P-733.Z高動(dòng)態(tài)Z納米定位儀/掃描儀：直接位置測(cè)量和通光孔徑
P-612.Z壓電Z舞臺(tái)：帶孔的緊湊型納米定位器
P-611.Z壓電Z舞臺(tái)：緊湊型納米定位器
特色定制
PI P-725KHDS
P-725KHDSPIFOC®高動(dòng)態(tài)物鏡掃描儀：重型物鏡的納米分辨率
4.PI 微型六足動(dòng)物
Q-Motion®壓電位移臺(tái)內(nèi)置了小的6自由度運(yùn)動(dòng)設(shè)備，也提供手掌大小的BLDC電機(jī)六足位移臺(tái)。
使用的運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)取決于應(yīng)用中單個(gè)軸上運(yùn)動(dòng)的重要性。經(jīng)典的平行運(yùn)動(dòng)六腳架設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)佳的整體性能均勻性。當(dāng)需要相對(duì)較大的線性運(yùn)動(dòng)時(shí)，好采用薄型設(shè)計(jì)。
好使用采用PI的利PICMA®或PiezoWalk®驅(qū)動(dòng)技術(shù)的六腳架提供超高真空和非磁性環(huán)境。
H-811.I2 / I2V 6軸微型六腳架：快速，緊湊，高精度
H-811.F2 6軸微型六腳架：光纖對(duì)準(zhǔn)的理想選擇
H-811.S2 6軸運(yùn)動(dòng)六腳架：快速而緊湊的高動(dòng)態(tài)應(yīng)用
H-810 6軸微型六腳架：最小空間內(nèi)的高精度
P-911KNMV超高壓兼容的微型壓電六腳架：即使在強(qiáng)磁場(chǎng)中也能進(jìn)行高精度定位
5.PI 微型線性平臺(tái)
微型階段對(duì)于在可用空間有限的定位任務(wù)中至關(guān)重要。諸如Q-motion®，PIline®和PiezoWalk®之類的壓電電機(jī)解決方案由于具有直接驅(qū)動(dòng)原理，因此可實(shí)現(xiàn)緊湊的平臺(tái)。
型號(hào)介紹：
帶有Q-Motion®，PILine®和PiezoWalk®驅(qū)動(dòng)器的微型平臺(tái)
U-523PILine®線性平臺(tái)：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺(tái)
Q-521 Q?Motion®微型線性平臺(tái)：具有位置控制，高分辨率和價(jià)格合理的最小線性平臺(tái)
PI N-565 1200精度高的N-565線性平臺(tái)：具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器
U-521PILine®線性平臺(tái)：帶有超聲波壓電電機(jī)的緊湊型線性平臺(tái)
Q-545 Q?Motion®精密線性平臺(tái)：壓電馬達(dá)帶來(lái)的高力和小設(shè)計(jì)，帶有PIMag®VC VoiceCoil和三相直線電機(jī)，步進(jìn)，直流和無(wú)刷直流電機(jī)的微型平臺(tái)
M-110•M-111•M-112緊湊型線性平臺(tái)：XY（Z）組合，具有各種驅(qū)動(dòng)器和行程范圍
L-306緊湊型精密Z工作臺(tái)：緊湊設(shè)計(jì)，多軸組合
L-505緊湊型線性平臺(tái)：帶直流或步進(jìn)電機(jī)
V-408PIMag®線性平臺(tái)：便宜，帶直線電機(jī)
V-508PIMag®精密線性平臺(tái)：多種選項(xiàng)可適應(yīng)需求
L-402微型線性平臺(tái)：帶直流或步進(jìn)電機(jī)
A-141 PIglide MB微型線性平臺(tái)，帶空氣軸承：高性能，無(wú)塵室兼容，可定制
V-522•V-524•V-528高性能PIMag®線性平臺(tái)：帶直接位置測(cè)量的音圈直接驅(qū)動(dòng)
M-122.2DD1微翻譯平臺(tái)：具有直接位置測(cè)量功能的緊湊型線性平臺(tái)
M-105微翻譯平臺(tái)：精密交叉滾子導(dǎo)軌，PiezoMike選件，XY（Z）組合
MTS-65微型線性平臺(tái)：工業(yè)用途的堅(jiān)固設(shè)計(jì)
L-406緊湊型線性平臺(tái)：對(duì)于10公斤的負(fù)載
6.PI 微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)
帶有壓電馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)使尺寸特別緊湊。
顯微鏡的許多應(yīng)用要求自由光通過(guò)。這些緊湊的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)還可以用于光學(xué)應(yīng)用中，在這些應(yīng)用中，它們可以可靠地定位濾光片，并具有出色的可重復(fù)性。
旋轉(zhuǎn)平臺(tái)可以安裝在沒(méi)有適配器的線性平臺(tái)上，并且可以靈活組合多軸定位系統(tǒng)。
帶有Q-Motion和PILine®驅(qū)動(dòng)器的微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)
U-622PILine®旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺(tái) ，具有薄型設(shè)計(jì)的U-651旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，快速PILine®直接驅(qū)動(dòng)和中央開(kāi)口
U-624PILine®旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：超聲波壓電馬達(dá)微型載物臺(tái)
Q-632 Q?Motion®旋轉(zhuǎn)臺(tái)：緊湊型壓電電機(jī)：轉(zhuǎn)臺(tái)直徑30 mm，帶有步進(jìn)，直流和無(wú)刷直流（BLDC）電機(jī)的微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)
V-611PIMag®旋轉(zhuǎn)平臺(tái)：高扭矩的扁平設(shè)計(jì)，最大承重2 kg
RS-40緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)：精確定位
V-610緊湊型PIMag®旋轉(zhuǎn)臺(tái)：緊湊，適用于M-110的多軸組合
DT-80緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)：大光圈
DT-34微型旋轉(zhuǎn)臺(tái)：尺寸緊湊，帶直流或步進(jìn)電機(jī)
PI（Physik Instrumente）位移平臺(tái)
ASR 20.3，管式電流互感器
管電流互感器，初級(jí)額定電流為50 A至300 A，次級(jí)額定電流為5 A或1 A(可選2 A)，精度等級(jí)為3,1和0.5。
§ 千卡。標(biāo)稱連續(xù)電流I cth：1,0 x I N.
§ 千卡。標(biāo)稱短時(shí)電流I th：60 x I N，1秒。
§ 最大。工作電壓U m：0.72 kV
§ 隔離測(cè)試電壓：3kV，U eff，50Hz，1分鐘。
§ 標(biāo)稱額定頻率：50 Hz
§ 隔離等級(jí)：E§ 圓形導(dǎo)體：21毫米
§ 寬度：45毫米
§ 高度：65毫米
§ 深
MBS型號(hào)示例：
MBS ASR 14.3
MBS ASR 20.3
MBS ASR 21.3
MBS ASR 21.5
MBS ASR 22.3
MBS ASR 22.3 2U
MBS ASR 201.3
MBS ASR 42.45
MBS AS 176.3
MBS ASK 176.3
MBS ASK 205.3
MBS ASK 21.3
MBS ASK 31.3
MBS ASK 31.3 2u
MBS ASK 31.5
MBS ASK 31.5 2u
MBS ASK 31.6
MBS ASK 318.3
MBS ASK 31.4
MBS ASK 31.4 2u
MBS ASK 31.4 3u
MBS ASK 41.3
MBS ASK 421.4
MBS ASK 41.4
MBS ASK 41.4 2u
MBS ASK 41.4 3u
MBS ASK 41.5
MBS ASK 41.6
MBS ASK 412.4
MBS ASK 412.4 2u
MBS ASK 412.4 3u
MBS ASK 541.4
MBS ASK 51.4
MBS ASK 51.4 2u
MBS ASK 51.4 3u
MBS ASK 561.4
MBS ASK 51.6
MBS ASK 61.4
MBS ASK 61.4 2u
MBS ASK 61.4 3u
MBS ASK 61.6
MBS ASK 63.6
MBS ASK 81.4
MBS ASK 81.4 2u
MBS ASK 81.4 3u
MBS ASK 63.4
MBS ASK 83.4
MBS ASK 101.4
MBS ASK 101.4 2u
MBS ASK 103.3
MBS ASK 105.6
MBS ASK 105.6 N
MBS ASK 123.3
MBS ASK 103.41
MBS ASK 127.4
MBS ASK 127.6
MBS ASK 128.4
MBS ASK 129.10
MBS ASK 130.5
MBS ASK 130.3
MBS ASK 31.6
MBS ASK 41.6
MBS ASK 51.6
MBS ASK 61.6
MBS WSK 31.5
MBS WSK 70.6
MBS ASR 201.3
MBS ASR 22.3
MBS ASK 21.3
MBS ASK 31.3
MBS ASK 31.4
MBS ASK 31.5
MBS ASK 41.4
MBS ASK 541.4
MBS ASK 51.4
MBS ASK 61.4
MBS ASK 81.4
MBS ASK 105.6
MBS ASK 105.10
MBS ASK 123.3
MBS ASK 130.3
MBS ASK 130.5
MBS SWMU41.51
MBS SWMU41.52
MBS SWMU42.51
MBS SWMU42.52
MBS ASR 14.3 50/1A 1.5VA Cl.3
MBS ASR 14.3 50/1A 1VA cl.1
MBS ASR 14.3 50/1A 1.5VA Cl.1
MBS ASR 14.3 60/1A 1.5VA Cl.1
MBS ASR 14.3 75/1A 1.5VA Cl.1
MBS ASR 14.3 30/1A 1VA Cl.3
MBS ASR 14.3 50/5A 1VA Cl.1
MBS ASR 14.3 50/5A 1.5VA Cl.1
MBS ASR 14.3 60/5A 1.5VA Cl.1
MBS ASR 14.3 75/5A 1.5VA Cl.1
MBS ASR 14.3 30/5A 1VA Cl.3
MBS ASR 14.3 40/5A 1VA Cl.3
MBS CTM 7 35/1A 0,2VA Kl.1
MBS CTM 7 40/1A 0,3VA Kl.1
MBS CTM 7 50/1A 0,4VA Kl.1
MBS CTM 7 60/1A 0,4VA Kl.1
MBS CTM 7 64/1A 0,5VA Kl.1
MBS ASR 14.3
MBS ASR 20.3
MBS ASR 201.3
MBS ASR 21.3
MBS ASR 21.5
MBS ASR 22.3
MBS ASR 42.45
MBS ASR 22.3 2U
MBS ASG 210.3
MBS ASG 106
MBS ASG 123
MBS AS 176.3
MBS ASK 176.3
MBS ASK 205.3
MBS ASK 21.3
MBS ASK 231.5
MBS ASK 31.3
MBS ASK 318.3
MBS CTB 31.35
MBS ASK 31.4
MBS ASK 31.5
MBS ASK 31.6
MBS ASK 41.3
MBS ASK 421.4
MBS CTB 41.35
MBS ASK 41.4
MBS ASK 41.5
MBS ASK 412.4
MBS ASK 41.6
MBS ASK 541.4
MBS CTB 51.35
MBS ASK 51.4
MBS ASK 51.6
MBS ASK 561.4
MBS CTB 61.35
MBS ASK 61.4
MBS ASK 61.6
MBS ASK 63.4
MBS ASK 63.6
MBS CTB 81.35
MBS ASK 81.4
MBS ASK 83.4
MBS CTB 101.35
MBS ASK 101.4
MBS ASK 103.3
MBS ASK 103.41
MBS ASK 105.6
MBS ASK 105.6N
MBS ASK 123.3
MBS ASK 127.4
MBS ASK 127.6
MBS ASK 128.4
MBS ASK 129.10
MBS ASK 130.3
MBS ASK 130.5
MBS ASK 165.5
MBS ASK 205.5
MBS ASK 31.3 2U
MBS ASK 31.4 2U
MBS ASK 31.4 3U
MBS ASK 31.5 2U
MBS ASK 41.4 2U
MBS ASK 41.4 3U
MBS ASK 412.4 2U
MBS ASK 412.4 3U
MBS ASK 51.4 2U
MBS ASK 51.4 3U
MBS ASK 61.4 2U
MBS ASK 61.4 3U
MBS ASK 81.4 2U
MBS ASK 81.4 3U
MBS ASK 101.4 2U
MBS ASK 103.41 2U
MBS WSK 30
MBS WSK 40
MBS WSK 40N
MBS WSK 60
MBS WSK 70.6
MBS WSK 70.6 N
MBS WSK 31.5
MBS KBR 18
MBS KBR 32
MBS KBR 44
MBS KBU 23
MBS KBU 58
MBS KBU 812
MBS KSU 2
MBS KSU 3
MBS SUSK 3
MBS SUSK 4
MBS SUSK 5
MBS SUSK 6
MBS SUSK 7
MBS SUSK 8
MBS NH 6.1
MBS NH 6.2
MBS NH 6.3
MBS NH 6.1 2U
MBS NH 6.2 2U
MBS NH 6.3 2U
MBS SASR 22.3
MBS SASK 21.3
MBS SASK 31.5
MBS SASK 31.6
MBS SASK 421.4
MBS SASK 41.4
MBS SASK 41.6
MBS SASK 41.10
MBS SASK 541.4
MBS SASK 51.4
MBS SASK 51.6
MBS SASK 61.4
MBS SASK 61.10
MBS SASK 63.6
MBS SASK 105.6
MBS ASRD 14
MBS ASRD 210.3
MBS ASRD 205.37
MBS ASRD 310.37
MBS ASK(D) 21.3
MBS ASK(D) 31.5
MBS ASKD 31.8 mit Bodenplatte
MBS ASKD 31.8 ohne Bodenplatte und Nullleiter
MBS ASK(D) 31.5 2U
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