郜賽楠
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Physik Instrumente位移臺(tái)
負(fù)載容量達(dá)1000 公斤
重復(fù)精度達(dá)±0.5 微米
設(shè)計(jì)可改變：尺寸、行程和負(fù)載
速度達(dá)50 毫米/秒
行程達(dá)340 毫米/60度
帶制動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)器：無(wú)刷電機(jī)
Physik Instrumente位移臺(tái)
納米定位壓電彎曲平臺(tái)
微型舞臺(tái)
線性平臺(tái)
線性執(zhí)行器
旋轉(zhuǎn)臺(tái)
XY平臺(tái)
PI的多軸壓電撓性位移臺(tái)允許在多達(dá)6個(gè)軸上以亞納米精度進(jìn)行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運(yùn)動(dòng)。版本范圍從緊湊的立方體設(shè)計(jì)到大孔徑和薄型。
XYZ掃描儀是定位技術(shù)的工具。應(yīng)用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學(xué)計(jì)量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。
所有壓電納米定位系統(tǒng)均已在工廠校準(zhǔn)，并隨測(cè)量記錄一起提供。
P-733.3 XYZ壓電納米定位器
應(yīng)用領(lǐng)域
掃描顯微鏡
共聚焦顯微鏡
掩膜/晶圓定位
表面測(cè)量技術(shù)
納米壓印
顯微操作
圖像處理/穩(wěn)定
納米定位具有很高的平面度和運(yùn)動(dòng)平直度
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長(zhǎng)期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。
自動(dòng)配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。
適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無(wú)需潤(rùn)滑劑或油脂即可運(yùn)行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的除氣率。
PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長(zhǎng)
獲得利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒(méi)有單一故障的1000億次循環(huán)。
零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無(wú)維護(hù)，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。
平行位置測(cè)量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考。可以實(shí)時(shí)（取決于帶寬）主動(dòng)補(bǔ)償（主動(dòng)引導(dǎo)）軸之間的不良串?dāng)_。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。
Physik Instrumente（PI） P-733.3CD
Physik Instrumente（PI）P-733.3CL
Physik Instrumente（PI）P-733.3DD
應(yīng)用領(lǐng)域：
六腳架支持工業(yè)機(jī)器人
科學(xué)儀器
半導(dǎo)體技術(shù)
顯微鏡檢查
硅光子學(xué)
醫(yī)療技術(shù)
材料研究
機(jī)械工業(yè)
更多其他產(chǎn)品的型號(hào)如下
Physik Instrumente M-235.5DG
Physik Instrumente FH430A69-05+197
Physik Instrumente S-330.2SH
Physik Instrumente PI E-727.3SDA
Physik Instrumente PI E-727.3SD
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente E-727.3CD
Physik Instrumente P-562.6CD
Physik Instrumente E-712.6CD
Physik Instrumente S-330.2SL
Physik Instrumente E-501.00
Physik Instrumente E-503.00S
Physik Instrumente E-509.S3
Physik Instrumente E-518.I3
Physik Instrumente P-616.3C
Physik Instrumente E-727.3CD
Physik Instrumente E-873.1AT
Physik Instrumente H-825.D2A
Physik Instrumente C-887.52
Physik Instrumente E-841.55
Physik Instrumente E-831.05
Physik Instrumente E-841.55
Physik Instrumente N-565.160
客服熱線：
