Physik Instrumente位移臺(tái)應(yīng)用領(lǐng)域

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納米定位壓電彎曲平臺(tái)

微型舞臺(tái)

線性平臺(tái)

線性執(zhí)行器

旋轉(zhuǎn)臺(tái)

XY平臺(tái)

PI的多軸壓電撓性位移臺(tái)允許在多達(dá)6個(gè)軸上以亞納米精度進(jìn)行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運(yùn)動(dòng)。版本范圍從最緊湊的立方體設(shè)計(jì)到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術(shù)的全方位工具。應(yīng)用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學(xué)計(jì)量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統(tǒng)均已在工廠校準(zhǔn)，并隨測(cè)量記錄一起提供。

P-733.3 XYZ壓電納米定位器

應(yīng)用領(lǐng)域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩膜/晶圓定位

·         表面測(cè)量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操作

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         納米定位具有很高的平面度和運(yùn)動(dòng)平直度

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長(zhǎng)期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用

壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤(rùn)滑劑或油脂即可運(yùn)行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)極低的除氣率。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長(zhǎng)

獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實(shí)證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測(cè)量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為參考?？梢詫?shí)時(shí)（取決于帶寬）主動(dòng)補(bǔ)償（主動(dòng)引導(dǎo)）軸之間的不良串?dāng)_。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。

P-733.3CD

P-733.3CL       

P-733.3DD

應(yīng)用領(lǐng)域：

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