高艷春
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PI (Physik Instrumente)U-521 PILine線性平臺
U-521 PILine線性平臺
帶超聲波壓電電機的緊湊型線性平臺
U-521
PILine線性平臺
? 快速精密定位小型負載:速度達200毫
米/秒,最小位移達0.3微米
? 節(jié)省空間:寬僅35毫米、高僅15毫米
? 關(guān)機后自鎖:節(jié)約能量,減少熱量產(chǎn)生
? 靜音
? 可按需提供定制版本
精密級線性定位平臺
PILine平臺尤其適合要求快速精密定位的應用。關(guān)機后,自鎖驅(qū)動器保持平臺位置的機械穩(wěn)定。因而可大大減少能量
消耗和熱量產(chǎn)生。蓄電池驅(qū)動或熱敏型的低占空比應用可得益于這些特點。軸的位置通過一個編碼器和一個光學參考
開關(guān)測量,該開關(guān)允許可靠的可重復運動。壓電電機驅(qū)動器原理及其電氣操作成本低,可定制。
PILine超聲波壓電電機
作為PILine超聲波壓電電機不可或缺的一部分,壓電陶瓷促動器上被施加預載,通過一個耦合元件抵住移動導向轉(zhuǎn)子
。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下,壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動器的變形使耦合元件
相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動。建立的進給為幾納米每循環(huán);高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動器上相對于動
輪施加預載可確保驅(qū)動器在靜止狀態(tài)下和關(guān)機時自鎖。
增量編碼器用于高精度位置測量
非接觸式光學編碼器以極高的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。
應用領(lǐng)域
顯微操縱、自動化、生物科技、樣本操縱、樣本定位、有限空間內(nèi)的應用、真空應用可達10-6百帕(可選).
訂購信息
U-521.23
帶PILine
超聲波壓電電機的小型線性平臺,寬度為35毫米,驅(qū)動力為2牛,行程為18毫米。采用增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量
,0.4微米分辨率,Sub-D連接器
U-521.24
帶PILine
超聲波壓電電機的小型線性平臺,寬度為35毫米,驅(qū)動力為2牛,行程為18毫米。采用增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量
,0.1微米分辨率,Sub-D連接器
U-521.23V
帶PILine
超聲波壓電電機的小型線性平臺,寬度為35毫米,驅(qū)動力為2牛,行程為18毫米。采用增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量
,0.4微米分辨率,Sub-D連接器,真空兼容至10-6百帕