Brooks Instrument質(zhì)量流量計(jì)4860型
Brooks Instrument精密流體測量和控制技術(shù)的制造商，產(chǎn)品主要應(yīng)用在在重工業(yè)。在石油和天然氣精煉中?；瘜W(xué)和石化研究。制藥和生物制藥生產(chǎn)。太陽能電池、LED、薄膜、光纖和半導(dǎo)體制造。
Brooks Instrument 4860型質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)規(guī)格：
流量范圍（滿量程）：50 sccm - 40 slpm
準(zhǔn)確性：3.0% 滿額，1.0% FS（可選）
重復(fù)性：0.15% FS
響應(yīng)時間：常閉閥：300 ms - <1 sec
壓力：150 磅/平方英寸/10 巴
診斷能力：狀態(tài)燈：MFC 運(yùn)行狀況、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)；警報(bào)：傳感器輸出、控制閥輸出、過溫、電源浪涌/驟降、網(wǎng)絡(luò)中斷；診斷/服務(wù)端口：RS485 通過 2.5 毫米插孔
模擬通信：0-5 伏直流，4-20 毫安
Brooks Instrument流量計(jì)常見型號：
SLA5853S3AAB2C2A1
SLAMF50S1BAF1G2A2
SLAMF50S1BAB1G2A2
SLAMF50S1BDD1G2A2
1350GAH3ABJT1AAA
SLA5850SB1AB1B2A1
Brooks Instrument質(zhì)量流量計(jì)4860型
周利云
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