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Brooks Instrument質(zhì)量流量控制器5851EMH

    

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品牌Brooks Instrument 有效期至長期有效 最后更新2022-08-08 16:20
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Brooks Instrument質(zhì)量流量控制器5851EMH

Brooks Instrument質(zhì)量流量控制器5851EMH
 
  Brooks Instrument精密流體測量和控制技術(shù)的制造商，產(chǎn)品主要應(yīng)用在在重工業(yè)。在石油和天然氣精煉中。化學(xué)和石化研究。制藥和生物制藥生產(chǎn)。太陽能電池、LED、薄膜、光纖和半導(dǎo)體制造。
 
   Brooks Instrument 5851EMH質(zhì)量流量控制器用于高溫應(yīng)用的超純性能。
 
 Brooks Instrument質(zhì)量流量控制器5851EMH
Brooks Instrument 5851EMH質(zhì)量流量控制器技術(shù)規(guī)格：
流量范圍（滿量程）：10 - 100 slm（N 2等效）
準(zhǔn)確性：FS ±1%
重復(fù)性：< ±0.25% SP 
響應(yīng)時間：3 秒至 SP 的 2% 以內(nèi)（根據(jù) SEMI E17-91）
模擬通信：：0-5 伏直流電
 
Brooks Instrument流量計常見型號：
SLA5853S3AAB2C2A1
SLAMF50S1BAF1G2A2
SLAMF50S1BAB1G2A2
SLAMF50S1BDD1G2A2
1350GAH3ABJT1AAA
SLA5850SB1AB1B2A1
 
Brooks Instrument質(zhì)量流量控制器5851EMH
 
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