PI (Physik Instrumente)是全球精密定位技術(shù)市場的佼佼者,多年來以其優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品而聞名。 在使用壓電或電機驅(qū)動器的標準及OEM產(chǎn)品的開發(fā)和制造方面,PI擁有40年的歷史。ACS是多軸高精度驅(qū)動器系統(tǒng)用模塊化運動控制器的開發(fā)商和制造商,通過收購其大多數(shù)股份,PI在為要求高精度和動態(tài)的工業(yè)應(yīng)用提供整套系統(tǒng)的方面又向前邁進了重要一步。PI集團分布全球,除了在德國設(shè)有四個基地之外,在其他國家和地區(qū)還設(shè)立了總共十五個銷售和服務(wù)分部。
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為了實現(xiàn)更高的處理能力,光學檢驗、激光切割或打標以及工業(yè)測量技術(shù)和顯微鏡學均需要具有較高運動精度和穩(wěn)定性并且盡可能快速的定位系統(tǒng)。為了能夠為多樣化的應(yīng)用提供解決方案,PI (Physik Instrumente)擁有兩條XY位移平臺產(chǎn)品線,其產(chǎn)品組合中包含各種電機。PI掃描儀
這些緊湊型定位系統(tǒng)可沿X和Y方向工作,其行程為100至300毫米,速度可達500毫米/秒,并且能夠以高重復(fù)精度定位(單向重復(fù)精度可達0.05微米)。集成的高分辨率線性編碼器直接在平臺上測量位置;因此,非線性效應(yīng)、機械游隙或彈性變形不會對位置測量造成任何影響。此外,具有平坦輪廓的平面設(shè)計很大程度地減少了堆疊誤差并提高了剛度。100毫米的變型(圖)在中心同樣具有大孔徑,因此可以從上方或下方接近樣本或工件。PI掃描儀
XY位移平臺由PI控制器或基于EtherCAT的ACS控制模塊控制,該模塊還提供基于事件的觸發(fā),以控制與運動模式相關(guān)的激光或測量工具。
線性電機直接驅(qū)動(V-731、V-738和V-741)或步進和直流電機(L-731、L-738和L-741)是XY位移平臺的原動力。三相磁性線性電機省去了動力傳動系統(tǒng)中的機械組件,并將驅(qū)動力直接傳輸?shù)竭\動平臺且不會產(chǎn)生任何摩擦。這意味著可以實現(xiàn)高達500毫米/秒的速度。無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務(wù),因為其不會與永久性磁鐵發(fā)生不良作用。這么一來,即使在最低的速度下也能保持平穩(wěn)的運行,且在高速狀態(tài)下也不會產(chǎn)生振動。