SEMIFLOW CO.65超聲波夾式流量計非常適合半導體行業(yè)中使用各種磨料、粘合劑、腐蝕性和高純度液體的一系列工藝。為了確保這些過程的穩(wěn)定性和高質(zhì)量,持續(xù)監(jiān)測硬塑料軟管和管道的流量非常重要。
這些傳感器配備集成電子單元,可作為完整的流量計,其尺寸與小型傳感器相同,無需外部電路板或測量傳感器。
產(chǎn)品優(yōu)勢
高精度非接觸式流量測量
創(chuàng)新的非接觸式夾緊機構(gòu)可防止污染和泄漏,從而延長正常運行時間
在 PFA、PTFE 和其他硬塑料軟管和管道上的應用
更換或改造傳感器時不會造成成本高昂的流程中斷
用于潛在爆炸區(qū)域的傳感器套件(ATEX / IECEx – Ex Zone 1)
支持所有常見工業(yè)接口
特征
用于半導體行業(yè)流量監(jiān)測的SEMIFLOW ® CO.65 傳感器
很好的測量性能
實時測量瞬時流量和體積計數(shù)
可靠的流量測量高達 400 l/min
精度為 +/- 2%
塑料外殼 (PVC-C) 和塑料對接連接器 (PA)
王亞輝 QQ:2353585188 手機:18519029373 電話:010-64714988-171 傳真:010-84786709-667 郵件:sales12@handelsen.cn |
技術(shù)參數(shù)
測量周期:10ms
工作電壓:12 — 30VDC
最大能量消耗:30mA
環(huán)境溫度:0 — +90°C
SEMIFLOW CO.65 超聲波夾式流量計應用領(lǐng)域
晶圓清洗系統(tǒng)
光刻系統(tǒng)
攪拌站
化學品供應系統(tǒng)
漿料線